中科院長春光機所大功率激光研究組開發(fā)出了利用4個高功率垂直腔面發(fā)射半導(dǎo)體激光器（vcsel）單管串接形成的百瓦級980nm波段高功率準(zhǔn)列陣模塊。該模塊采用全自主化設(shè)計的芯片結(jié)構(gòu)及模塊結(jié)構(gòu)，其尺寸僅有2.2mmx2.2mm，輸出功率高達(dá)210w，這是單管vcsel模塊迄今為止所報道的最高功率指標(biāo)。該突破使得微小型高功率vc-sel模塊有望在激光引信、激光測距及激光面陣?yán)走_(dá)系統(tǒng)中實現(xiàn)實用化。該成果已正式發(fā)表，并得到了國際知名光電類期刊《semicon-ductortoday》的關(guān)注。

針對高靈敏度激光引信、激光測距等軍事應(yīng)用需求，vcsel模塊驅(qū)動源采用高重復(fù)頻率、超窄脈沖電流源，激光器工作時重復(fù)頻率高達(dá)10khz，脈寬僅有30ns。微型化高功率vc-sel模塊采用具有自主知識產(chǎn)權(quán)的串接結(jié)構(gòu)，突破了單管及列陣vcsel器件高功率工作所需的超高工作電流問題；通過合理布線，減小了整體模塊的電容電感，保證器件能夠快速響應(yīng)。

vcsel具有圓形對稱輸出光斑、不存在cod等獨特優(yōu)勢，在高功率脈沖激光應(yīng)用領(lǐng)域具有廣闊應(yīng)用前景。中科院長春光機所大功率半導(dǎo)體激光組在高功率vcsel器件研制上具有10余年研究基礎(chǔ)，并在2012年成功實現(xiàn)了vcsel單管92w的國際最高器件指標(biāo)，目前又成功開發(fā)出百瓦級vcsel單管模塊。該課題組正與多家航天類及國防類單位合作開展下一步的實用化研究，以及推動國內(nèi)激光引信、測距及激光面陣?yán)走_(dá)等領(lǐng)域的發(fā)展。