今朝SPI公司的產(chǎn)物重要分為連續(xù)光纖激光器和脈沖光纖激光器兩大類。連續(xù)光纖激光器包含25～400W系列產(chǎn)物，脈沖光纖激光器包含10～40W系列產(chǎn)物。連續(xù)光纖激光器重要用于硅片切割；脈沖光纖激光器重要用于硅片劃刻、打孔和打標(biāo)等。G3脈沖激光器——與基于Q開關(guān)技能的光纖激光器分歧的是，SPI公司的10～40WG3（第三代）脈沖激光器采納主振蕩功率放大（MOPA）技能，因?yàn)槠漭斎腩l次是由種子光的頻次決議的　，而種子激光的頻次可經(jīng)由過程電調(diào)制的方法直接節(jié)制，是以該激光用具有連續(xù)輸入（當(dāng)種子光的　輸入為連續(xù)輸入時(shí)）和脈沖輸入（當(dāng)種子光的輸入為脈沖輸入時(shí)）兩種操縱形式。在脈沖模
 式下，40W脈沖激光重視頻次范疇為1～500kHz，峰值功率可達(dá)20kW，單脈沖能量可達(dá)1.25mJ，脈沖寬度可達(dá)10nm，而且內(nèi)置25種波形可供抉擇。均勻功率、峰值功率、脈沖頻次和脈沖寬度等參數(shù)可按照利用需要調(diào)解，從而極大地拓寬了G3激光器在硅片加工范疇的利用范疇，極大地進(jìn)步了加工服從。R4連續(xù)激光器體系——SPI公司的連續(xù)激光器包含25～200W風(fēng)冷激連續(xù)光器和100～400W水冷連續(xù)激光器，最大調(diào)制頻次為100kHz，輸入功率不亂性為±0.5％。
 激光切割晶圓

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