皮秒激光作為一種新型的能量源，具有皮秒級(jí)超短脈寬、重復(fù)頻率可調(diào)、脈沖能量高等特點(diǎn)，有望實(shí)現(xiàn)在金屬表面實(shí)現(xiàn)高精度、高效率的膜移除效果。紅外皮秒激光器通常會(huì)提供更大的輸出功率，從而在無(wú)熱影響區(qū)的前提下帶來(lái)更高的處理速度。

引 言：

隨 著大功率激光器技術(shù)的發(fā)展，激光與材料相互作用研究的深入，激光加工已經(jīng)成為加工領(lǐng)域中的一種常用技術(shù)。近年來(lái)，皮秒激光器在各種材料的微加工中獲得越來(lái) 越多的應(yīng)用。微加工通常針對(duì)的是微米級(jí)別的加工需求，如金屬表面處理，同時(shí)還要避免對(duì)周邊材料造成熱損傷。微加工的目的就是獲得精細(xì)、干凈的切口，而且熱 影響區(qū)（HAZ）最小。皮秒脈沖激光器的脈沖寬度之短、足以避免能量發(fā)生熱擴(kuò)散并達(dá)到這些消融臨界過(guò)程所需要的峰值能量密度，因此在該加工應(yīng)用領(lǐng)域具有眾多優(yōu)勢(shì)。SPARK LASERS 紅外皮秒激光器基于其超短脈沖、高功率、高脈沖能量等優(yōu)勢(shì)，在材料微加工領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。

1.        議題

可行性實(shí)驗(yàn)的主要目的是使用皮秒激光器通過(guò)絕緣膜（陶瓷）清晰劃線，顯示不銹鋼的一些規(guī)格：

   干凈、選擇性清除

   膜涂層無(wú)熱影響區(qū)域

   激光對(duì)不銹鋼無(wú)損傷

我們需要實(shí)現(xiàn)膜上凹槽不同寬度（50、200和1000um）。以最好的工藝參數(shù)，我們處理特定的包含3個(gè)凹槽的刻線模式，長(zhǎng)度100mm；相鄰間隔6mm、依次翻倍即12mm、24mm。3個(gè)凹槽組成的每組之間間隔為10 mm。

1.        技術(shù)選擇

如下為選用的激光器的主要特點(diǎn)：

1.        可行性試驗(yàn)

為了確定最好的加工窗口用于不銹鋼上膜的移除，我們改變不同的實(shí)驗(yàn)參數(shù)如下：

ü   脈沖能量

ü   平均功率

ü   重復(fù)頻率

ü   掃描速度

ü   迭代次數(shù)

使用低重復(fù)頻率（25 kHz）減少基質(zhì)上的熱積累，因此可獲得更好質(zhì)量的凹槽（無(wú)熱影響區(qū)、毛糙…….）

4. 度量

陶瓷樣品

50 um槽寬：

200 um槽寬：

1000 um槽寬：

最終的實(shí)物圖：