川崎重工業(yè)開發(fā)出了用于制造薄膜太陽能電池的激光制模機(jī)。特點(diǎn)是加工速度提高到了1萬～2萬mm/秒。

薄膜太陽能電池通常在玻璃基板表面層疊透明電極膜、半導(dǎo)體膜(發(fā)電層)及金屬膜等，在層疊這些膜的過程中需要使用制模機(jī)實(shí)施電路成形(開槽)加工。據(jù)川崎重工介紹，現(xiàn)有制模機(jī)的刻劃速度為2000mm/秒左右。而要想使太陽能電池實(shí)現(xiàn)低成本化，制模機(jī)需要具備更高的刻劃速度。另外，為了提高太陽能電池的發(fā)電效率，刻劃線的高品質(zhì)化也備受期待。

此次開發(fā)的制模機(jī)由激光照射裝置和搬運(yùn)部分構(gòu)成。將加工速度提高到了1萬～2萬mm/秒。另外，以往需要使玻璃基板處于停止?fàn)顟B(tài)才能加工，而此次無需停止玻璃基板即可在激光照射裝置上通過，實(shí)施刻劃加工處理。也就是說，能夠連接進(jìn)給玻璃基板。通過這些改進(jìn)，縮短了每塊玻璃基板的加工時間及加工間歇時間。另外，此次的制模機(jī)刻劃出的溝槽寬度均一，可形成凹凸及毛刺少的光滑形狀，有望為非發(fā)電區(qū)域的最小化以及發(fā)電效率的提高做出貢獻(xiàn)。該制模機(jī)的外形尺寸為3500mm×2300mm×1500mm。可加工的基板最大尺寸為1400mm×1100mm。

今后川崎重工還打算將此次開發(fā)的制模機(jī)與已上市的晶圓高壓噴射清洗機(jī)相組合，提供整套系統(tǒng)。