激光器是生產(chǎn)薄膜太陽能電池模塊的重要工具,特別是高性能超短脈沖激光器,其能提供持續(xù)時間僅幾個皮秒的超短脈沖,這不但能幫助制造商提高產(chǎn)量,而且還能優(yōu)化加工工藝。
目前,在針對解決未來能源問題的討論中,光伏能源作為一種可再生能源扮演著重要角色。技術(shù)進步是實現(xiàn)電能平價消費的一個至關重要的前提條件,比如通過技術(shù)進步將光伏發(fā)電的成本降低到接近傳統(tǒng)能源的成本。
目前,晶硅太陽能電池是光伏市場中的主導產(chǎn)品,其轉(zhuǎn)換效率最高達20%。在晶硅太陽能電池的制造過程中,激光器主要用于晶圓切割和邊緣絕緣。
在激光邊緣絕緣過程中,激光輔助摻雜(doping)工藝用于防止電池正面與背面之間的短路而引起的功率損失。越來越多的激光器被用于激光輔助摻雜工藝中,以改善載流子的遷移率,特別是對于電極的接觸指而言尤為如此。在過去的幾年中,薄膜太陽能電池取得了巨大的發(fā)展,業(yè)界專家們更是希望其未來能在光伏市場中占據(jù)大約20%的市場份額。
薄膜太陽能電池中所采用的膜層只有幾微米厚,因此其在生產(chǎn)中便能節(jié)約大量材料。在薄膜太陽能電池的制造過程中,激光發(fā)揮著決定性的作用。在整個制造過程中,激光將電池結(jié)構(gòu)化并連接成模塊,并對模塊進行相應的刻蝕處理,進而保證所需要的絕緣性能。
成熟的激光刻線工藝
在非晶硅或碲化鎘(CdTe)薄膜太陽能電池模塊的生產(chǎn)過程中,導電薄膜和光伏薄膜被沉積在大面積玻璃基板上。每層薄膜被沉積后,均利用激光對膜層進行刻蝕,并使各個電池之間自動串聯(lián)起來。這樣,就能夠根據(jù)電池寬度設定電池和模塊的電流。精確的選擇性非接觸式激光加工,能夠可靠地集成到薄膜太陽能電池模塊的生產(chǎn)線中。人們通常所說的刻線就是單個激光脈沖刻蝕的一個連貫過程,該脈沖聚焦后光斑大小為30~80μm,因此在P1層刻線中,要采用脈寬為幾十納秒(10~80ns)的脈沖光對玻璃基底進行刻蝕。
透明導電氧化物(TCO,如ZnO和SnO2)通常使用近紅外激光和相對較高的脈沖重復頻率進行加工。通常需要的脈沖重復頻率要超過100kHz。較高的脈沖重復頻率能夠確保切口處的徹底清潔。
根據(jù)材料對激光的吸收系數(shù)的不同,需要為特定的加工工藝選擇合適的激光波長。綠激光對于硅的破壞閾值遠低于其對TCO的破壞閾值,因此綠激光可以安全透過TCO膜層后,對吸收層進行刻線。P2層和P3層的刻線機理與P1層相同。
單脈沖刻線機理本身的特征對脈沖重復頻率提出了一定的限制。為了防止接觸面半導體層的脫落,加工過程中需要的典型脈沖重復頻率為35~45kHz。常用的刻蝕閾值約為2J/cm2,也就是能將25μJ的激光能量聚焦到直徑為40μm的面積上,其平均功率非常低。由于綠光激光器的平均功率均為數(shù)瓦量級,因此能夠?qū)⒐馐止夂筮M行多光束并行加工,從而進一步提高工作效率。
對于P1、P2和P3層的刻線應用而言,用于微加工應用的、輸出波長為1064nm和532nm的結(jié)構(gòu)小巧緊湊的二極管泵浦激光器,無疑是無疑是一種理想的選擇,并且這種激光器能夠提供極高的脈沖穩(wěn)定性。這類激光器的脈沖持續(xù)時間為8~ 40ns,脈沖重復頻率為1~100kHz。
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