半導(dǎo)體激光器是以半導(dǎo)體材料作為激光工作物質(zhì)的激光器。它具有超小型、高效率、結(jié)構(gòu)簡單、價格便宜以及可以高速工作等一系列優(yōu)點。自1962年問世,特別是二十世紀80年代以來,發(fā)展極為迅速。它是目前光通信領(lǐng)域內(nèi)使用的最重要光源,并且在CD、VCD、DVD播放機、計算機光盤驅(qū)動器、激光打印機、全息照相、激光準直、測距及醫(yī)療等許多方面都獲得了重要應(yīng)用。
半導(dǎo)體激光器是注入式的受激光放大器。雖然它形成激光的必要條件與其它激光器相同,也須滿足粒子數(shù)反轉(zhuǎn)、諧振等條件,但它的激發(fā)機理和前面討論的幾種激光器截然不同。它的電子躍遷是發(fā)生在半導(dǎo)體材料導(dǎo)帶中的電子態(tài)和價帶中的空穴態(tài)之間,而不象原子、分子、離子激光器那樣發(fā)生在兩個確定的能級之間。半導(dǎo)體材料中也有受激吸收、受激輻射和自發(fā)輻射過程。在電流或光的激勵下,半導(dǎo)體價帶中的電子可以獲得能量,躍遷到導(dǎo)帶上,在價帶中形成了一個空穴,這相當于受激吸收過程。此外,價帶中的空穴也可被從導(dǎo)帶躍遷下來的電子填補復(fù)合。在復(fù)合時,電子把大約等于Eg的能量釋放出來,放出一個頻率為
原子的能級對應(yīng)著原子的不同運動狀態(tài)。實際上固體中原子之間相距不遠,由于原子間的相互作用,能級會分裂。在一個具有N個粒子相互作用的晶體中,每一個能級會分裂成為N個能級,其相互間能量差小到10-22eV數(shù)量級。因此這彼此十分接近的N個能級好象形成一個連續(xù)的帶,稱之為能帶,見圖(1)。
純凈(本征)半導(dǎo)體材料,如單晶硅、鍺等,在絕對溫度為零的理想狀態(tài)下,能帶由一個充滿電子的價帶和一個完全沒有電子的導(dǎo)帶組成,如圖(2)。二者之間是禁帶,那時半導(dǎo)體是一個不導(dǎo)電的絕緣體。隨著溫度的升高,部分電子由于熱運動激發(fā)到導(dǎo)帶中,成為自由電子。同時價帶中少了一個電子,產(chǎn)生一個空穴,相當于一個與電子電量相同的正電荷。在外電場的作用下,導(dǎo)帶中的電子和價帶中的空穴都可以運動而導(dǎo)電,二者都稱為載流子。#p#分頁標題#e#
圖(1) 固體的能帶 圖(2) 本征半導(dǎo)體的能帶結(jié)構(gòu)
熱平衡時,電子在能帶中的分布不再服從玻爾茲曼分布,而服從費米分布,能級E被電子占據(jù)的幾率為
(1)式
其中
#p#分頁標題#e#在四價的半導(dǎo)體晶體材料中,摻以五價元素取代四價元素在晶體中的位置,這種摻雜的半導(dǎo)體叫做N型半導(dǎo)體。若在四價的半導(dǎo)體晶體材料中摻以三價元素,這種摻雜的半導(dǎo)體叫做P型半導(dǎo)體。N型半導(dǎo)體中,多出來的電子不能參與組成共價鍵,很容易成為自由電子,這使得在導(dǎo)帶的下方靠近導(dǎo)帶的地方形成新的能級,稱為施主能級。P型半導(dǎo)體中,由于三價元素少一個電子,其中一個共價鍵出現(xiàn)空穴,電子占據(jù)價帶的幾率增大,這使得在價帶的上方靠近價帶的地方增加出來新的能級,稱為受主能級。
雜質(zhì)半導(dǎo)體中費米能級的位置與雜質(zhì)類型及摻雜濃度有密切關(guān)系。為了說明問題,圖(3)給出了溫度極低時的情況。受主能級使費米能級向下移動(圖(3)(b)),施主能級使費米能級向上移動(圖(3)(d))。重摻雜時費米能級甚至移動到價帶(圖(3)(c))或?qū)В▓D(3)#p#分頁標題#e#(e))之中。這里已經(jīng)假設(shè)溫度極低,因此重摻雜P型半導(dǎo)體中低于費米能級的能態(tài)都被電子填滿,高于費米能級的能態(tài)都是空的,價帶中出現(xiàn)空穴。這種情況叫做P型簡并半導(dǎo)體。反之,重摻雜N型半導(dǎo)體中低于費米能級的能態(tài)都被電子填滿,盡管溫度極低,導(dǎo)帶中也有自由電子。這種情況叫做N型簡并半導(dǎo)體。在非平衡條件下還會出現(xiàn)所謂“雙簡并半導(dǎo)體”,這時在半導(dǎo)體中存在兩個費米能級,如圖(3)(f)所示(詳見下面的討論)。
圖(3)費米能級的位置與雜質(zhì)類型及摻雜濃度關(guān)系
當光照射到圖(3)所示的各種半導(dǎo)體時,在a—e的五種情況下,半導(dǎo)體中只有一個費米能級,在它之上沒有電子,在它之下已充滿電子,因此不會發(fā)生電子向沒有被電子占據(jù)的空態(tài)躍遷,而只會將外來光子吸收。在圖(3)f所示的情況下有所不同,兩個費米能級使得導(dǎo)帶中有自由電子,價帶中有空穴。如果外來光子的能量與上能帶中電子和下能帶中空穴之間的能量差相同,則會誘導(dǎo)導(dǎo)帶中電子向價帶中空穴躍遷而發(fā)出一個同樣的光子。當外來光子的能量大于兩費米能級
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