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企業(yè)新聞

臺積電供應商極光先進激光公司發(fā)生氟氣泄漏 300多人撤離

激光制造網(wǎng) 來源:集微網(wǎng)2023-08-16 我要評論(0 )   

據(jù)科技新報報道,臺積電供應商之一的極光先進激光股份有限公司,8月15日上午11時傳出氟氣鋼瓶泄露事件。氟氣是3級管制有毒氣體,整個廠區(qū)立刻疏散,300多人撤離。報道稱...

據(jù)科技新報報道,臺積電供應商之一的極光先進激光股份有限公司,8月15日上午11時傳出氟氣鋼瓶泄露事件。氟氣是3級管制有毒氣體,整個廠區(qū)立刻疏散,300多人撤離。

報道稱,消防局收到消息后派人員處理,確認極光先進激光公司發(fā)生總量6540克的鋼瓶氟氣外泄事件,由于氟氣有毒,消防局立即協(xié)助廠區(qū)疏散清空,并進行止閥冷卻。

消防局表示,進一步處理之后,氣體泄露事件已經(jīng)解決。在廠內(nèi)泄露的氣體偵測值已降為0,并且消防人員目前確認閥體、鋼瓶沒有其他泄漏狀況,公司員工也沒有人員受困或傷亡的情況。

至于鋼瓶氟氣泄露原因,需進一步調(diào)查。

公開資料顯示,極光先進提供作為半導體曝光設備用的激光,為世界上生產(chǎn)曝光用Excimer激光制造大廠之一,產(chǎn)品覆蓋亞洲市場如中國、日本、韓國等大部分的半導體制造廠,在歐美市場使用率較高。


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