據(jù)科技新報報道，臺積電供應商之一的極光先進激光股份有限公司，8月15日上午11時傳出氟氣鋼瓶泄露事件。氟氣是3級管制有毒氣體，整個廠區(qū)立刻疏散，300多人撤離。

報道稱，消防局收到消息后派人員處理，確認極光先進激光公司發(fā)生總量6540克的鋼瓶氟氣外泄事件，由于氟氣有毒，消防局立即協(xié)助廠區(qū)疏散清空，并進行止閥冷卻。

消防局表示，進一步處理之后，氣體泄露事件已經(jīng)解決。在廠內(nèi)泄露的氣體偵測值已降為0，并且消防人員目前確認閥體、鋼瓶沒有其他泄漏狀況，公司員工也沒有人員受困或傷亡的情況。

至于鋼瓶氟氣泄露原因，需進一步調(diào)查。

公開資料顯示，極光先進提供作為半導體曝光設備用的激光，為世界上生產(chǎn)曝光用Excimer激光制造大廠之一，產(chǎn)品覆蓋亞洲市場如中國、日本、韓國等大部分的半導體制造廠，在歐美市場使用率較高。