近日,廣東省工業(yè)超短脈沖激光技術(shù)企業(yè)重點實驗室通過了廣東省科學(xué)技術(shù)廳組織的2022年考核評估,獲得“良好”評級。
廣東省工業(yè)超短脈沖激光技術(shù)企業(yè)重點實驗室于2018年9月獲批成立,依托大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團股份有限公司(簡稱大族激光)聯(lián)合暨南大學(xué)、華南師范大學(xué)進行建設(shè)管理,地址位于深圳市寶安區(qū)大族激光全球智造中心,占地面積超過6000平方米。
實驗室由大族激光首席技術(shù)官呂啟濤博士擔任主任,專家委員會由3位院士與7位專家教授組成,專職研發(fā)人員超過40人。
實驗室的建設(shè)瞄準國際超短脈沖激光一流技術(shù),面向精密制造經(jīng)濟主戰(zhàn)場,在高端制造技術(shù)領(lǐng)域,破解美西方對核心技術(shù)的限制,彌補科研院校在工程化及應(yīng)用方面的短板。
主要圍繞工業(yè)超短脈沖激光核心器件的技術(shù)突破、超短脈沖激光與物質(zhì)的相互作用工藝研究,基于自主研發(fā)超短脈沖激光器的激光裝備研究等方向,開展前沿技術(shù)研究與工業(yè)應(yīng)用開發(fā)。
基礎(chǔ)器件技術(shù)領(lǐng)先
助推自主激光技術(shù)角逐國際舞臺
依托實驗室建設(shè),在超快激光晶體、工業(yè)級超快激光器智能控制系統(tǒng)等關(guān)鍵自研器件,光纖皮秒種子源等自制核心模塊、百瓦級工業(yè)全固態(tài)紅外皮秒激光器、高功率固體紫外皮秒激光器、高功率紅外飛秒激光器等超短脈沖激光器方面成果豐碩。
實驗室團隊研制的紅外皮秒激光器實現(xiàn)300W功率輸出,此外,團隊攻克了制造工藝和工程技術(shù)難題,將紫外波長轉(zhuǎn)化效率提高到35%以上,非線性晶體單點壽命突破10000小時(國際平均2000小時),最大激光輸出功率達105W(8 ps)。經(jīng)過專家技術(shù)鑒定,該紫外皮秒激光器及裝備“整體達到國際先進,部分國際領(lǐng)先水平”。市場表現(xiàn)上,5W-100W工業(yè)級皮秒激光器已經(jīng)實現(xiàn)進口替代,經(jīng)濟效益顯著。暨南大學(xué)團隊針對全固態(tài)超短脈沖激光器晶體展開研究,取得突破性進展。團隊利用提拉法自主制備的高質(zhì)量Yb:CYA晶體,替代商用的Yb:YAG晶體作為激光介質(zhì),并應(yīng)用于激光鎖模系統(tǒng)中,顯示出優(yōu)異性能。
暨南大學(xué)制備的YB:CYA晶體
實驗室相關(guān)成果獲得“廣東省科技進步獎一等獎”2項、“廣東省科技進步二等獎”1項、中國光學(xué)學(xué)會“中國光學(xué)科技獎一等獎”2項、中國有色金屬學(xué)會“工業(yè)科學(xué)技術(shù)二等獎”1項,申請(授權(quán))各類專利超過20項。團隊牽頭(參與)承擔國家級研發(fā)計劃2項、省重點領(lǐng)域研發(fā)計劃項目2項、市級技術(shù)攻關(guān)重點項目等3項、參與指定團體標準1項。
深耕行業(yè)應(yīng)用
產(chǎn)業(yè)賦能共謀發(fā)展新篇
實驗室面向產(chǎn)業(yè)應(yīng)用需求,立足前沿技術(shù),實現(xiàn)從實驗室到市場應(yīng)用的一站式服務(wù)。面向5G通訊、晶圓加工、醫(yī)療器械、3C電子等行業(yè)應(yīng)用,研發(fā)團隊對超短脈沖激光對玻璃、陶瓷、藍寶石等硬脆性材料的加工工藝進行了重點研究。以超短脈沖激光“更快的刀、更準的尺”為抓手,開發(fā)出超快激光玻璃切割機、紫外皮秒晶圓切割機、高精度大幅面綠光皮秒激光微加工系統(tǒng)、全自動多頭分光高精度藍寶石鍍層超快激光去除系統(tǒng)、多脈寬合束激光多層脆硬材料標記系統(tǒng)等多套激光加工裝備,實現(xiàn)規(guī)模化生產(chǎn)。
華南師范大學(xué)團隊針對超短脈沖激光燒蝕金屬特性進行研究,系統(tǒng)開展了飛秒激光對不銹鋼材料的切割、打孔工藝;實現(xiàn)鈦合金表面超親水性能的維納結(jié)構(gòu)構(gòu)建。相關(guān)技術(shù)在實驗室的“產(chǎn)學(xué)研用”體系下得到市場驗證。
本實驗室的建設(shè)推動了相關(guān)行業(yè)的技術(shù)革新,并帶動上下游產(chǎn)業(yè)發(fā)展。實驗室將繼續(xù)秉承“基礎(chǔ)器件技術(shù)領(lǐng)先,行業(yè)裝備深耕應(yīng)用”的發(fā)展戰(zhàn)略,強化基礎(chǔ)研究、突破核心技術(shù),為廣東省高端裝備制造業(yè)轉(zhuǎn)型升級助力,促進經(jīng)濟高質(zhì)量發(fā)展,推動中國新型工業(yè)化建設(shè),為實現(xiàn)制造強國戰(zhàn)略貢獻力量。
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