伴隨紫外激光和超快激光普遍用于半導(dǎo)體、面板和生物醫(yī)學(xué)行業(yè)等行業(yè),激光精細(xì)微加工和顯微分析測試已成為常用工具。由于加工區(qū)域需要控制在幾μm級別精度,只是測量激光功率或能量的強(qiáng)度和穩(wěn)定性已經(jīng)不能滿足常規(guī)的加工質(zhì)量管控要求,激光加工,尤其是紫外/超快微加工中,由于激光器輸出特性、光路的微小變化,導(dǎo)致焦斑的尺寸、位置變化,影響加工效果和一致性,因此在激光加工方面,我們需要對激光“看到”更多的細(xì)節(jié),比如光斑大小、峰值中心位置、幾何中心位置、橢圓度、2D/3D 光斑形貌等參數(shù)。
此前,測量激光的精細(xì)參數(shù),需要光學(xué)工程師在現(xiàn)場搭建焦斑測量的光路,造成大量的停機(jī)時(shí)間,影響生產(chǎn)效率;先鋒科技密切關(guān)心客戶的需求,基于長時(shí)間服務(wù)于激光光束品質(zhì)的經(jīng)驗(yàn),開發(fā)出整體式焦斑測量儀。該儀器體積小、光路靈活、分辨率高、測量結(jié)果準(zhǔn)確,只需要簡單的擺放對準(zhǔn)調(diào)節(jié)即可秒出結(jié)果,既可以圖形化直觀顯示焦斑是否正常,也可以獲取全方位的強(qiáng)度分布數(shù)據(jù),一經(jīng)推出即引起強(qiáng)烈的市場反響。
該精密激光焦點(diǎn)分析儀測量精度可達(dá)1um以下, 簡化、加速了對激光微加工系統(tǒng)焦點(diǎn)光斑進(jìn)行測量分析的過程,增強(qiáng)測試結(jié)果的可靠性,提升產(chǎn)線生產(chǎn)效率并確保生產(chǎn)制程的穩(wěn)定性,是紫外/超快激光微加工應(yīng)用中的得力工具,可廣泛用于激光精細(xì)切割和焊接,超快激光聚焦分析、面板和半導(dǎo)體加工、生物醫(yī)學(xué)顯微測試方向。
主要特點(diǎn):
A.一維\二維\三維形象顯示激光的光強(qiáng)分布輪廓,明確生動(dòng)看出激光光束質(zhì)量的好壞;
B.可測焦點(diǎn)光斑直徑、峰值中心、中心點(diǎn)能量密度強(qiáng)弱和位置、光斑橢圓度、高斯匹配度等;
C.實(shí)時(shí)觀測光斑峰值中心位置的變化,測量激光點(diǎn)穩(wěn)定性,了解光斑的變化情況;
D.噪聲逐點(diǎn)扣除專利功能,保證了測量激光的各參數(shù)的準(zhǔn)確性;
E. 可配合不同類型大功率近場成像鏡頭,最小可以測量光斑大?。?um;
F. 一體化緊湊設(shè)計(jì),方便集成于系統(tǒng),支持二次開發(fā);
G. 確定激光加工焦點(diǎn)位置,提升激光加工性能;
先鋒科技是專業(yè)從事光電相關(guān)領(lǐng)域內(nèi)與科研、生產(chǎn)等環(huán)節(jié)密切相關(guān)的儀器系統(tǒng)集成業(yè)務(wù)的綜合性服務(wù)商,業(yè)務(wù)范圍涵蓋各著名高等院校和大型生產(chǎn)型企業(yè)。目前全球技術(shù)深度融合,我們將發(fā)揮自身技術(shù)優(yōu)勢,基于已有的光譜技術(shù),精密位移技術(shù),光檢測技術(shù),與高等院校研究單位密切合作,逐步完善已有的光譜類,激光檢測類產(chǎn)品,開創(chuàng)研發(fā)創(chuàng)新新篇章!
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