近日，中國(guó)科學(xué)院大連化學(xué)物理研究所催化基礎(chǔ)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室研究員傅強(qiáng)團(tuán)隊(duì)與臺(tái)積電（TSMC）Lain-Jong Li團(tuán)隊(duì)、臺(tái)灣交通大學(xué)Wen-Hao Chang團(tuán)隊(duì)、美國(guó)萊斯大學(xué)B. I. Yakobson團(tuán)隊(duì)、北京大學(xué)教授張艷峰團(tuán)隊(duì)合作，在2英寸晶圓襯底上成功外延生長(zhǎng)單晶六方氮化硼（hBN）單層薄膜。

　　六方氮化硼是一類重要的二維半導(dǎo)體層狀材料，如何在晶圓上實(shí)現(xiàn)單晶六方氮化硼薄膜的可控生長(zhǎng)是六方氮化硼未來應(yīng)用于集成電路中的關(guān)鍵挑戰(zhàn)。研究人員在藍(lán)寶石基底上生長(zhǎng)表面取向?yàn)椋?11）的無晶界單晶銅薄膜，以此作為襯底進(jìn)一步制備完全有序的六方氮化硼晶圓片。對(duì)大面積單層薄膜結(jié)構(gòu)單晶性質(zhì)的表征和確認(rèn)是兩維材料研究中一個(gè)公認(rèn)難題。研究人員借助于實(shí)驗(yàn)室自行研制的深紫外激光PEEM/LEEM裝備，利用其特有的表面微區(qū)成像和衍射功能，在1英寸晶圓表面上選取近百個(gè)微米尺寸的微區(qū)進(jìn)行結(jié)構(gòu)分析，實(shí)驗(yàn)結(jié)果證實(shí)，六方氮化硼薄膜與Cu(111)襯底表面取向完全一致，確認(rèn)了該單層薄膜的單晶特性。

　　相關(guān)成果發(fā)表在《自然》（Nature）上。該工作得到國(guó)家自然科學(xué)基金科學(xué)中心項(xiàng)目、中科院戰(zhàn)略性先導(dǎo)科技專項(xiàng)B類“能源化學(xué)轉(zhuǎn)化的本質(zhì)與調(diào)控”、國(guó)家重大科研裝備研制項(xiàng)目等資助。

大連化物所等利用深紫外激光PEEM/LEEM表征晶圓六方氮化硼結(jié)構(gòu)研究獲進(jìn)展