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激光技術(shù)

光學(xué)工業(yè)——光在工業(yè)方面的應(yīng)用

Johnny 來源:Light China2014-12-16 我要評論(0 )   

激光切割,利用高能量密度的激光束作為切割刀具對材料進行熱切割的一種材料加工方法。特點是利用能量密度極高的激光束照射工件切割部位,使其材料瞬間熔化或蒸發(fā),并在...

  激光切割,利用高能量密度的激光束作為“切割刀具”對材料進行熱切割的一種材料加工方法。特點是利用能量密度極高的激光束照射工件切割部位,使其材料瞬間熔化或蒸發(fā),并在沖擊波作用下將熔融物質(zhì)噴射出去。

 

激光焊接,對于具有共熔性的同種或異種金屬,在激光照射下,由于吸收光能,使局部溫度迅速升高,在功率密度恰當時,局部被照射部分的金屬達到熔點,但不發(fā)生汽化,待熔化金屬冷卻后,兩部分材料就焊接在一起,這是一種很直接簡便的焊接方法。

 

激光打標,利用高能量密度的激光對工件進行局部照射,使表層材料汽化或發(fā)生顏色變化的化學(xué)反應(yīng),從而留下永久性標記的一種打標方法。聚焦后的極細的激光光束如同刀具,可將物體表面材料逐點去除。

 

激光清洗,一種新型激光表面處理技術(shù)。它是利用高能激光束照射工件表面,使表面的污物、銹斑、或涂層發(fā)生瞬間蒸發(fā)或剝離,高速有效地清除對象表面附著物或表面涂層,從而達到清潔材料表面的工藝過程。

 

激光淬火,指用高功率密度的激光束快速掃描工件,在其表面極薄一層的區(qū)域內(nèi),溫度以極快速度上升到奧氏體化溫度(高于相變點而低于熔化溫度),而工件基體溫度基本保持不變。當激光束移開時,由于熱傳導(dǎo)的作用,處于冷態(tài)的基體使其迅速冷卻得到馬氏體組織實現(xiàn)自冷淬火,進而實現(xiàn)工件表面相變硬化。

 

光刻技術(shù),是用平面技術(shù)制造集成電路時,借助于光在襯底硅的氧化層上刻出所需要的圖形的技術(shù)。光刻技術(shù)是集成電路工藝中的關(guān)鍵技術(shù)。激光光刻可以分為激光投影式光刻和激光無掩膜光刻技術(shù)。傳統(tǒng)的激光投影式光刻技術(shù)是基于光學(xué)曝光法,其曝光技術(shù)最終制約著光刻工藝的分辨率。激光無掩膜光刻技術(shù)是利用激光束在基體的表面直接進行微納(微米或納米)圖形的制備。 這種技術(shù)是直寫式無接觸的加工技術(shù), 因而無需傳統(tǒng)曝光輻射式的光掩膜以及納米壓印接觸式的模板, 也避免了接觸時出現(xiàn)的摩擦、粘附污染等問題。

 

使用激光投影式光刻技術(shù)時,光束經(jīng)過光學(xué)器件系統(tǒng)聚焦、投影到掩膜上,經(jīng)過掩膜達到光刻膠膜面實現(xiàn)曝光,但是光學(xué)投影系統(tǒng)的分辨率受到衍射的限制。激光在材料上的作用區(qū)域大小與材料的吸收系數(shù)、導(dǎo)熱系數(shù)以及激光脈沖的能量和持續(xù)時間有關(guān),通過選擇合適的材料、優(yōu)化加工參數(shù),可以將激光的有效作用點大小控制到小于微米的量級,實現(xiàn)激光無掩膜光刻。

 

根據(jù)制備納米圖形原理的不同,典型的激光無掩膜光刻技術(shù)有激光近場掃描光刻、干涉光刻、非線性光刻以及激光熱刻蝕和微透鏡陣列光刻等。激光近場掃描光刻可以克服衍射極限的限制,實現(xiàn)超分辨的效果。激光干涉光刻可以實現(xiàn)大面積高效制備納米圖形,利用兩束相干光形成的平行駐波圖形對光刻膠實行曝光。激光非線性光刻是利用材料的非線性吸收特性,突破衍射極限的限制,實現(xiàn)高的分辨率。激光熱刻蝕是基于材料吸收光子后產(chǎn)生的熱效應(yīng)引發(fā)材料的物理化學(xué)性質(zhì)發(fā)生變化,如相變和化學(xué)斷鍵等,從而使得激光輻照區(qū)域和非輻照區(qū)域在特定的顯影劑有不同的抗蝕性,經(jīng)顯影后留下圖形結(jié)構(gòu)。

 

激光照排,是用激光光束對感光材料進行掃描曝光以獲得文字版面。所謂激光照排技術(shù),就是將文字通過計算機分解為點陣,然后控制激光在感光底片上掃描,用曝光點的點陣組成文字和圖像。

 

工業(yè)顯微技術(shù)廣泛地應(yīng)用于工業(yè)檢測、工業(yè)探傷、精密測控、自動生產(chǎn)線等領(lǐng)域。通常人眼無法快速、連續(xù)、穩(wěn)定地完成這些帶有高度重復(fù)性和準確性要求的工作,由此人們開始考慮利用光電成像系統(tǒng)采集這些被測或被控目標的圖像,產(chǎn)生了機器視覺的概念。機器視覺系統(tǒng)又稱工業(yè)視覺系統(tǒng),其原理是:將產(chǎn)品或區(qū)域進行成像,然后根據(jù)其圖像信息用專用的圖像處理軟件進行處理,根據(jù)處理結(jié)果,軟件能自動判斷產(chǎn)品的位置、尺寸、外觀信息,并根據(jù)人為預(yù)先設(shè)定的標準進行自動運算,自動匹配,自動判別,自動確定是否合格,輸出其判斷信息給執(zhí)行機構(gòu),并能進行結(jié)果分類和自動糾正。前沿機器視覺技術(shù)是測控合一的,屬于機器人技術(shù)地帶,具有高智能和高效能特征。

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