典型的封離式基本結(jié)構(gòu)如上圖所示,主要由硬質(zhì)玻璃、諧振腔、電極三部分組成。
1. 硬質(zhì)玻璃部分
這部分由放電管、水冷管、儲氣管和回氣管而組成,其中放電管是CO2 激光器中關(guān)鍵的部件,它基本上決定了激光輸出的特性,放電管長度與輸出功率成正比。
水冷管的作用是冷卻工作氣體,維持輸出功率穩(wěn)定,而且防止在放電泵浦過程中,放電管因受熱炸裂。
儲氣管的作用一方面增加了增益介質(zhì)的儲氣量,減少放電過程中工作氣體成分和壓力的變化,延長運轉(zhuǎn)壽命,另一方面又增強了放電管的機械強度和穩(wěn)定性。
回氣管是連接放電管中兩個電極空間的細螺旋管,可以改善由電泳現(xiàn)象造成的極間電壓的不平衡分布,較長的回氣管還避免了儲氣罐與電極之間產(chǎn)生放電作用,確保放電只發(fā)生在放電管中。
2. 諧振腔部分
本部件由全反鏡和輸出反射鏡組成。諧振腔的全反鏡一般以光學(xué)玻璃為基底,表面鍍金膜,金膜反射鏡在 10.6um 附近的反射率達98%以上;諧振腔的輸出反射鏡一般采用能透射 10.6um 輻射的紅外線材料鍺(Ge)為基底,在上面渡上多層介質(zhì)膜而制成。
3. 電極部分
CO2 激光器一般采用冷陰極,形狀為圓筒形,陰極材料選用對激光器的壽命有很大的影響; 對陰極材料的基本要求是:濺射率低,氣體吸收率小。
CO2激光管工作原理
CO2分子為線性對稱分子,兩個氧原子分別在碳原子的兩側(cè),所表示的是原子的平衡位置。分子里的各原子始終運動著,要繞其平衡位置不停地振動。根據(jù)分子振動理論,CO2有三種不同的振動方式:
1.兩個氧原子在垂直于分子軸的方向振動,且振動方向相同,而碳原子則向相反的方向垂直于分子軸振動。由于三個原子的振動是同步的,又稱為變形振動
2.兩個氧原子沿分子軸,向相反方向振動,即兩個氧在振動中同時達到振動的最大值和平衡值,而此時分子中的碳原子靜止不動,因而其振動被叫做對稱振動。
3. 三個原子沿對稱軸振動,其中碳原子的振動方向與兩個氧原子相反,又叫反對稱振動能。在這三種不同的振動方式中,確定了有不同組別的能級。
二氧化碳激光是一種分子激光。主要的物質(zhì)是二氧化碳分子。它可以表現(xiàn)多種能量狀態(tài)這要視其震動和旋轉(zhuǎn)的形態(tài)而定。
二氧化碳里的混合氣體是由于電子釋放而造成的低壓氣體(通常30-50托)形成的等離子(電漿)。如麥克斯韋-波爾茲曼分布定律所說,在等離子里,分子呈現(xiàn)多種興奮狀態(tài)。一些會呈現(xiàn)高能態(tài)(00o1)其表現(xiàn)為不對稱擺動狀態(tài)。
通過自然散發(fā)這種高能狀態(tài)會下降到對稱擺動形態(tài)(10o0)以及放射出可能傳播到任何方向的光子(一種波長10.6μm的光束)。
激發(fā)過程
CO2激光管中,主要的工作物質(zhì)由CO2,氮氣,氦氣三種氣體組成。其中CO2是產(chǎn)生激光輻射的氣體、氮氣及氦氣為輔助性氣體。
有了氦氣,可以加速010能級熱弛預(yù)過程,更有利于激光能級100及020的抽空。氮氣加入主要在CO2激光管中起能量傳遞作用,為CO2激光上能級粒子數(shù)的積累以及大功率高效率的激光輸出起到強有力的作用。
CO2激光管的激發(fā)條件:放電管中,通常輸入幾十mA或幾百mA的直流電流。放電時,放電管中的混合氣體內(nèi)的氮分子由于受到電子的撞擊而被激發(fā)起來。這時受到激發(fā)的氮分子便和CO2分子發(fā)生碰撞,N2分子把自己的能量傳遞給CO2分子,CO2分子從低能級躍遷到高能級上形成粒子數(shù)反轉(zhuǎn)發(fā)出激光。
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