調(diào)試激光光路體系的操作步驟與辦法
1、首要要把光學(xué)掃描振鏡裝置固定好,掃描振鏡的裝置、Y掃描振鏡為筆直安放,X掃描振鏡水平安放,裝置時可從掃描頭部擺布側(cè)邊孔調(diào)查,使X、Y鏡片方位正交,鏡片鍍膜面朝歷來光方向;在兩邊調(diào)查孔目測,Y振鏡鏡片和X振鏡鏡片中間對準(zhǔn),即高度共同,水平對中。
2、其次要把紅光二極管激光器固定好,然后接通電源把紅光調(diào)至最佳狀況(此刻不能裝置擴束鏡和場鏡)。調(diào)整光具座使紅光的光點經(jīng)過前面板上的激光輸出孔的中間,直接打在Y軸振鏡的中間,在振鏡兩邊調(diào)查孔目測,紅點應(yīng)該在Y振鏡鏡片和X振鏡鏡片中間。
3、旋轉(zhuǎn)Y振鏡X振鏡,并堅持軸向不移動;使紅光打在振鏡或工作臺正下方,固定緊振鏡。
4、裝置(聚光腔)或半導(dǎo)體側(cè)泵模塊時,要讓紅光從Nd:YAG晶體棒兩頭均居棒套中間,即激光棒中間,此步最重要;抵達(dá)同光路意圖,并為準(zhǔn)直其他元件供給光源。
5、裝置全反鏡、輸出鏡、擴束鏡、聲光Q開關(guān)、同樣要中間進(jìn)中間出,并且全反鏡、輸出鏡的鍍膜面朝向聚光腔,紅光或激光必需要筆直的打在鏡片上。
6、依照光學(xué)反射原理,紅光照射在全反鏡上,必有一反射光點,調(diào)理全反鏡的俯仰、側(cè)轉(zhuǎn)旋鈕,使反射光點沿原路回來,在二極管激光輸出端上與輸出光點相重合。
7、調(diào)理Q開關(guān)的俯仰、側(cè)轉(zhuǎn)旋鈕,使反射點與二極管激光器(紅光)輸出光點相重合。
8、調(diào)理輸出鏡的俯仰、側(cè)轉(zhuǎn)旋鈕,使反射點與二極管激光器(紅光)輸出光點相重合。
9、最終檢查一下從輸出鏡出來的紅光是不是重合,如不是,則從頭把它調(diào)為一點。這時激光機的光路根本調(diào)試完了。
10、下一步調(diào)試激光,把制冷機同上電源式冷卻水正常循環(huán)。
11、給激光器電源、聲光Q驅(qū)動器、高速掃描振鏡電源接通電源使之正常工作(按操作規(guī)程使用設(shè)備)。
12、在調(diào)試激光時一定要封閉聲光Q驅(qū)動電源或把調(diào)制檔打到外調(diào)制后再調(diào)試,否則會沒有激光輸出。
13、這時可以把倍頻片(激光探測片)放在輸出鏡后調(diào)查,這時應(yīng)有激光輸出(若無、可略加大電流)。
14、在調(diào)理全反鏡的俯仰、側(cè)轉(zhuǎn)旋鈕,使激光輸出光點更佳(大而亮)。
15、細(xì)調(diào)完畢,激光器調(diào)試完畢,可進(jìn)入后光路體系(擴束鏡、掃描鏡、平場掃描鏡)調(diào)試。
16、光擴束鏡,輸出鏡后裝置有4倍光擴束器,其作用是減小光束發(fā)散角,進(jìn)步激光光束質(zhì)量,使在工件上刻寫的激光功率密度更高,刻線寬度更細(xì)。調(diào)整需求:調(diào)理擴束鏡的緊固螺母及俯仰、側(cè)轉(zhuǎn)旋鈕,使光束從中間經(jīng)過(中間進(jìn)中間出),并抵達(dá)掃描頭部入射孔中間。
17、平場掃描透鏡,激光束經(jīng)過擴束器后,經(jīng)X-Y掃描鏡反射抵達(dá)平場掃描透鏡,透鏡的裝置由下而上旋入,其上端面與振鏡距離契合技能需求。
18、別離調(diào)整光點在四角的強度,需求均勻共同,如不均勻則調(diào)整擴束鏡使之均勻。
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