在準(zhǔn)分子激光器全球的醫(yī)療、半導(dǎo)體、光纖、平板顯示、材料研究等高端行業(yè)得到廣泛的應(yīng)用，但作為專(zhuān)業(yè)的準(zhǔn)分子激光氣體的重要廠商，我們同時(shí)也發(fā)現(xiàn)在準(zhǔn)分子激光器的使用上，還存在著一些隱憂，筆者想通過(guò)這篇文章，以引起相關(guān)操作人員的重視。

準(zhǔn)分子激光氣體的主要成分：

氟化氬（ArF) 193 nm ：F₂、Ar、He、Ne；

氟化氪（KrF) 248 nm ：F₂、Ar、He、Ne；

氯化氙（XeCl）308 nm ：HCl、H₂、Xe、Ne

氟化氙（XeF） 351 nm：F#p#分頁(yè)標(biāo)題#e#₂、Xe、He、Ne

顯而易見(jiàn)，準(zhǔn)分子激光氣體成份中，Ar、He、Ne、Kr、Xe都是無(wú)色、無(wú)味、無(wú)毒、不可燃的惰性稀有氣體，除非大量釋放到密閉空間會(huì)引起窒息外，對(duì)人體的危害是有限的，排除惰性稀有氣體的危害最主要的做法還是通風(fēng)，增強(qiáng)室內(nèi)空氣的對(duì)流。

除了稀有氣體之外，準(zhǔn)分子激光氣中的F₂是我們采取防范措施的重中之重。很多情況下，準(zhǔn)分子激光氣體都是以預(yù)混的形式進(jìn)行供應(yīng)，這些預(yù)混氣的F₂濃度都在1%以下，但足以對(duì)人體健康構(gòu)成威脅，尤其是一些工業(yè)和科研應(yīng)用的準(zhǔn)分子激光氣，使用的是5%F₂+95%He，這類(lèi)型的氣體對(duì)人體的危害更為嚴(yán)重。

氟氣，化學(xué)式F₂，是一種淡黃色、極具腐蝕性的雙原子分子氣體，密度（標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下）：

1.554kg/m³ 比空氣大。有特殊氣味，吸入感覺(jué)干燥。

#p#分頁(yè)標(biāo)題#e#

　理化性質(zhì)

　 化學(xué)分子式： F₂

分子量： 37.9968

　　熔點(diǎn)(101.325kPa)： -219.62℃

　　沸點(diǎn)(101.325kPa)： -188.1℃

　　液體密度(-#p#分頁(yè)標(biāo)題#e#188.1℃，S.P.)： 1507kg/m³

　　氣體密度(25℃，101.325kPa)： 1.554kg/m³

　　相對(duì)密度(氣體，空氣=1，25℃，101.325kPa)：1.312

　　比容(21.1℃#p#分頁(yè)標(biāo)題#e#，101.325kPa)： 0.6367m³/kg

　　臨界溫度： -128.8℃

　　臨界壓力： 5215kPa

　　臨界密度： 574 kg/m³

　　熔化熱(-219.67℃，0.252kPa)： 13.44 KJ/kg

　　氣化熱(-188.2℃#p#分頁(yè)標(biāo)題#e#，101.325kPa)： 175.51 KJ/Kg

　　比熱容(氣體，21.1℃，101.325kPa)： Cp=827.67J/(mol.K)

　　 Cv=609.65J/(mol.K)

　比熱比(氣體，21.1℃，101.325kPa)：Cp/Cv=1.358

　　蒸氣壓(53.56K)： 0.223kPa

　　 (77.17K)： 37.383kPa

　　 (89.40K)：#p#分頁(yè)標(biāo)題#e# 162.638kPa

　　粘度(氣體，0℃，101.325kPa)： 0.02180mPa.s

　　(液體，-192.2℃)： 0.275mPa.S

　　表面張力(-193.2℃)： 14.81mN/m

　　導(dǎo)熱系數(shù)(氣體，0℃，101.325kPa)：#p#分頁(yè)標(biāo)題#e#0.024769W/(mol.K)

　　(液體，-188.1℃)： 0.159W/(mol.K)

　　折射率(氣體，25℃，101.325kPa)： 1.000187

　　(液體，-188.1℃)： 1.2

　　毒性級(jí)別： 4

　　易燃性級(jí)別： 0

　　易爆性級(jí)別：#p#分頁(yè)標(biāo)題#e# 3

　　火災(zāi)危險(xiǎn)度： 極大

氟是電負(fù)度最強(qiáng)的元素，也是很強(qiáng)的氧化劑。在常溫下，氟幾乎能和所有的元素化合，并產(chǎn)生大量的熱能，在所有元素中，氟是最活潑的。在－

188℃以下，凝成黃色的液體，在-223℃變成黃色結(jié)晶體。由于氟的強(qiáng)化學(xué)特性，單質(zhì)氟在自然界基本不存在，而主要以化合物的形式存在，其中最重要的化合物是氟化鈣（CaF₂），俗稱(chēng)螢石或氟石。由于原子能工業(yè)的發(fā)展，提煉核燃料必須使用單質(zhì)氟，才使得氟氣發(fā)展得到大規(guī)模的工業(yè)生產(chǎn)。氟氣在現(xiàn)代工業(yè)中，特別是核工業(yè)、電氣和化工行業(yè)等部門(mén)有著十分重要的用途。

毒性

　　人吸入TCLo：25ppm，5分鐘，對(duì)眼有刺激性

　　最高容許濃度：0.1 ppm (0.2mg/m³)

　　氟是劇毒性氣體，能刺激眼、皮膚、呼吸道粘膜。由于它立即與水反應(yīng)生成氟化氫#p#分頁(yè)標(biāo)題#e#HF，所以在大多數(shù)情況下顯出與氟化氫同樣的毒性。輕微吸入會(huì)影響肺、鼻、喉嚨等呼吸道黏膜，導(dǎo)致咳嗽及呼吸困難，過(guò)度吸入有可能產(chǎn)生組織破壞或肺水腫。

　　當(dāng)氟濃度為5～10ppm時(shí)，對(duì)眼、鼻、咽喉等粘膜開(kāi)始有刺激作用，作用時(shí)間長(zhǎng)時(shí)也可引起肺水腫。與皮膚接觸可引起毛發(fā)的燃燒，接觸部位凝固性壞死、上皮組織碳化等。慢性接觸可引起骨硬化癥和韌帶鈣化。氟物質(zhì)會(huì)與水或空氣中之濕氣反應(yīng)成氟化氫或氫氟酸，如果超過(guò)20%氟化氫或氫氟酸污染致人體可能導(dǎo)致血鈣過(guò)少。吸入氟的患者應(yīng)立即轉(zhuǎn)移至無(wú)污染的安全地方安置休息，并保持溫暖舒適。眼睛或皮膚受刺激時(shí)迅速用水沖洗之后就醫(yī)診治。氟物質(zhì)亦會(huì)與水或空氣中之濕氣反應(yīng)成氟化氫或氫氟酸。水中生物部分，如混合氣體大量的在河邊或水中外泄，會(huì)導(dǎo)致魚(yú)類(lèi)或水中生物死亡。

安全防護(hù)

　　工作場(chǎng)所要通風(fēng)保持空氣新鮮干燥。要用特種鋼瓶貯裝。鋼瓶存放時(shí)必須與其它物料隔離，特別是與能和氟反應(yīng)的物料隔絕，要遠(yuǎn)離易起火地點(diǎn)。

　　著火時(shí)消防人員須在防爆掩蔽處操作，切不可將水直接噴射漏氣處，否則會(huì)助長(zhǎng)火勢(shì)。滅火可用二氧化碳、干粉、砂土、廢氣可用水吸收。

　　氟氣是一種毒性極高的強(qiáng)腐蝕性氣體，在濕空氣中易形成氟化氫或二氟化氫。氟的腐蝕性突出表 現(xiàn)為強(qiáng)烈的酸性刺激性，其性質(zhì)同氟化氫相似。與水、水蒸氣反應(yīng)，產(chǎn)生有毒腐蝕性煙氣，并放出熱。

　　氟氣對(duì)皮膚的灼傷速度比氫氟酸快許多，眼睛是氟中毒的敏感部位，它對(duì)眼睛的刺激程度也大大超過(guò) 氫氟酸。呼吸到低含量的氟氣不會(huì)產(chǎn)生明顯的生理病變，但經(jīng)過(guò)呼吸系統(tǒng)進(jìn)入人體的骨組織內(nèi)，引起化 學(xué)反應(yīng)導(dǎo)致骨質(zhì)松軟。氟氣屬有毒壓縮氣體，宜儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)倉(cāng)內(nèi)，，并應(yīng)遠(yuǎn)離火種、熱源。氟氣應(yīng)與易燃或可燃物、金屬粉末等分開(kāi)存放。#p#分頁(yè)標(biāo)題#e#

生態(tài)資料

廢棄處置方法