隨著“中國制造2025”的持續(xù)推動,以及國外對中國的技術(shù)限制,中國半導(dǎo)體發(fā)展面臨著前所未有的機遇與挑戰(zhàn)。中國半導(dǎo)體制造對國產(chǎn)技術(shù)的發(fā)展有著更高的要求,市場需求推動技術(shù)其朝著高效率、高精度、高質(zhì)量方向發(fā)展。
近日,大族激光旗下全資子公司深圳市大族半導(dǎo)體裝備科技有限公司(簡稱“大族半導(dǎo)體”)憑借豐富的行業(yè)技術(shù)開發(fā)和工藝應(yīng)用經(jīng)驗,研制出核心部件100%國產(chǎn)化的高端晶圓激光切割設(shè)備——大族半導(dǎo)體DA100激光切割系統(tǒng)(以下簡稱“ DA100”),填補了我國在半導(dǎo)體晶圓切割領(lǐng)域的技術(shù)空白,成功打破國外壟斷。
大族半導(dǎo)體DA100是基于Ablation工藝原理進行晶圓切割分離的系統(tǒng),本系列設(shè)備是針對多行業(yè)不同特點,優(yōu)化開發(fā)的高兼容性激光表面切割系統(tǒng),可進行不同軌跡、多個產(chǎn)品的正背面自由切割,達到行業(yè)內(nèi)最高精度。與此同時,在原有切割材料的基礎(chǔ)上,實現(xiàn)了加工硅,砷化鎵,氮化鎵,藍寶石,磷化銦,陶瓷,金屬等材料的技術(shù)突破,是大族半導(dǎo)體在半導(dǎo)體激光加工設(shè)備開發(fā)進程中的一個重要里程碑。
大族半導(dǎo)體DA100可滿足各種類型晶圓的切割需求,對晶圓進行表切(切深≤20μm,切寬可定制),半切(切深≤ 100μm,切寬≤20μm),全切(切深≤200μm,切寬≤30μm)三種分離制程,功能可按需配置提供定制化服務(wù),進一步降低客戶的使用成本。該系統(tǒng)有如下突出特點:
1.從源頭及加工過程中良好地抑制粉塵、熱影響、回熔、崩邊等對晶圓品質(zhì)造成影響的不利因素,極大提升產(chǎn)品的良品率;
2.進一步提升加工能力,相較于傳統(tǒng)切割能力,可應(yīng)對200μm厚度以內(nèi)的晶圓產(chǎn)品(不同材質(zhì)切割效果會存在差異);
3.可選多達5套光路系統(tǒng)方案,應(yīng)對不同材料的分離工藝。
經(jīng)反復(fù)驗證,大族半導(dǎo)體DA100在切割效率、精度、穩(wěn)定性等方面,在行業(yè)內(nèi)已達國內(nèi)領(lǐng)先甚至國際先進水平,且關(guān)鍵性技術(shù)已實現(xiàn)較大突破。其核心部件100%國產(chǎn)化為我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供了強大的技術(shù)支持,實現(xiàn)了國產(chǎn)替代。
深圳市大族半導(dǎo)體裝備科技有限公司主要研究應(yīng)用于硅、碳化硅、砷化鎵、氮化鎵、陶瓷、藍寶石、玻璃、柔性薄膜和金屬等材料的加工工藝,生產(chǎn)制造和銷售從精細微加工,到視覺檢測等一系列自動化專業(yè)裝備。公司設(shè)備廣泛應(yīng)用于集成電路制造、第三代半導(dǎo)體、LED、面板等制造領(lǐng)域,致力于成為半導(dǎo)體裝備制造領(lǐng)域標桿企業(yè),為集成電路產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和突破不斷努力。目前公司在職員工逾千人,研發(fā)人員占50%左右,匯聚了十多位來自以色列、韓國和中國臺灣地區(qū)的行業(yè)技術(shù)專家、AI圖像處理算法專家,保證相關(guān)技術(shù)在行業(yè)中領(lǐng)先地位。隨著激光應(yīng)用領(lǐng)域的擴展以及應(yīng)用深度的加深,市場將對激光技術(shù)的應(yīng)用提出更高要求。大族半導(dǎo)體將持續(xù)以技術(shù)創(chuàng)新、工藝創(chuàng)新、產(chǎn)品創(chuàng)新為驅(qū)動,提升自身技術(shù)開發(fā)實力,助力中國集成電路發(fā)展,成為集成電路裝備制造領(lǐng)域標桿企業(yè)。
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