大功率超快激光技術(shù)實(shí)現(xiàn)新突破
近年來(lái),激光光源技術(shù)及應(yīng)用成為眾多產(chǎn)業(yè)中必不可少的智能制造裝備,其中極具代表性的高功率光纖激光器、納秒紫外激光器及超短脈沖激光精密加工應(yīng)用在工業(yè)應(yīng)用中全面爆發(fā)。高功率超快碟片激光器的高輸出功率、高轉(zhuǎn)換效率、高光束質(zhì)量和模塊化設(shè)計(jì)等優(yōu)勢(shì),推動(dòng)了高功率碟片激光器在工業(yè)上的重要應(yīng)用,已經(jīng)廣泛應(yīng)用于新能源汽車(chē)制造、芯片制造等高新技術(shù)企業(yè)。目前僅有德國(guó)斯圖加特大學(xué)和德國(guó)通快公司掌握著高功率碟片激光器研制的關(guān)鍵核心技術(shù)。
深圳技術(shù)大學(xué)科研團(tuán)隊(duì)經(jīng)過(guò)多年的持續(xù)研究,開(kāi)發(fā)了國(guó)內(nèi)領(lǐng)先的超高功率皮秒碟片激光器。項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)基于碟片激光技術(shù)平臺(tái),攻克碟片高效散熱關(guān)鍵技術(shù)、多沖程泵浦關(guān)鍵技術(shù)和再生放大腔等一系列關(guān)鍵核心技術(shù),在國(guó)內(nèi)首次實(shí)現(xiàn)了單脈沖能量>500μJ、脈沖寬度<7.5ps、重復(fù)頻率在50kHz-1000kHz范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào)、平均功率>200W的激光輸出,尤其是光束質(zhì)量M2<1.1、光-光轉(zhuǎn)換效率>50%的優(yōu)良性能,可廣泛應(yīng)用于玻璃、藍(lán)寶石和陶瓷的切割與鉆孔,以及光伏太陽(yáng)能、半導(dǎo)體晶圓等精密微加工領(lǐng)域,具有廣闊的市場(chǎng)前景。
聚焦激光技術(shù)創(chuàng)新 服務(wù)國(guó)家重大需求 深圳技術(shù)大學(xué)從建校初期就將光電子技術(shù)、激光光源技術(shù)及應(yīng)用作為重點(diǎn)學(xué)科方向,依托先進(jìn)光學(xué)精密制造技術(shù)廣東普通高校重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、深圳市激光工程重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、中德智能制造學(xué)院、工程物理學(xué)院引進(jìn)了一批具有較高理論及技術(shù)實(shí)力的研究人員,同時(shí)與德國(guó)阿倫應(yīng)用技術(shù)大學(xué)、雷根斯堡應(yīng)用技術(shù)大學(xué)、慕尼黑應(yīng)用技術(shù)大學(xué)、亞琛激光研究所等開(kāi)展緊密合作。針對(duì)先進(jìn)激光光源技術(shù)及激光微納制造工藝,深圳技術(shù)大學(xué)與大族激光、泰德激光、聯(lián)贏激光、杰普特光電、海目星激光智能裝備等多家企業(yè)的開(kāi)展校企合作和聯(lián)合技術(shù)攻關(guān),實(shí)現(xiàn)學(xué)校的優(yōu)質(zhì)科研資源和企業(yè)的先進(jìn)產(chǎn)業(yè)資源精準(zhǔn)對(duì)接,為產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供強(qiáng)大的支撐。 圖|200TW高對(duì)比度飛秒激光器 經(jīng)過(guò)多年來(lái)的研究積累,項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)依托學(xué)校的先進(jìn)光學(xué)精密制造技術(shù)廣東普通高校重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,與激光行業(yè)多家企業(yè)開(kāi)展緊密的校企合作,已經(jīng)構(gòu)建了“全光纖”和“半導(dǎo)體泵浦固體行波級(jí)聯(lián)放大”兩大激光技術(shù)平臺(tái),攻克了高效諧波頻率變換關(guān)鍵技術(shù)。采用具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的超短脈沖種子源及多級(jí)光纖-固體混合放大器方案,實(shí)現(xiàn)了中心波長(zhǎng)為1064 nm、平均功率>300W、脈沖能量>500μJ、脈沖寬度<8ps、峰值功率>80MW的高功率皮秒激光及105W皮秒紫外(355nm)的工業(yè)應(yīng)用激光輸出。該成果獲得2021年廣東省科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)。具有皮秒或飛秒量級(jí)脈沖寬度的超快激光由于其窄脈寬、高峰值功率的特性,在基礎(chǔ)科學(xué)、工業(yè)生產(chǎn)、生物醫(yī)學(xué)以及國(guó)防軍事等領(lǐng)域具有重要的應(yīng)用。實(shí)驗(yàn)室聚焦國(guó)家重點(diǎn)戰(zhàn)略需求,力求攻克激光領(lǐng)域中的“卡脖子”技術(shù)難題,推進(jìn)激光精密加工、新能源產(chǎn)業(yè)、芯片制造等戰(zhàn)略高技術(shù)領(lǐng)域的創(chuàng)新發(fā)展。 先進(jìn)光學(xué)精密制造技術(shù)廣東普通高校重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 先進(jìn)光學(xué)精密制造技術(shù)廣東普通高校重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室為省級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,依托深圳技術(shù)大學(xué)中德智能制造學(xué)院建設(shè),專注于高功率超快激光、中紅外激光、激光頻率變換技術(shù)、穩(wěn)定超熒光光源、先進(jìn)激光微納制造技術(shù)、特種材料激光焊接技術(shù)等領(lǐng)域關(guān)鍵技術(shù)研究與設(shè)備開(kāi)發(fā)。 今后,項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)將繼續(xù)依托該實(shí)驗(yàn)室開(kāi)展相關(guān)研究,以“需求牽引、突破瓶頸”為目標(biāo),進(jìn)一步提升超快激光器的輸出功率、突破紫外/深紫外激光器的技術(shù)瓶頸,為工業(yè)和科研應(yīng)用服務(wù)。同時(shí),結(jié)合深圳技術(shù)大學(xué)辦學(xué)特色,發(fā)揮項(xiàng)目?jī)?yōu)勢(shì),為行業(yè)培養(yǎng)更多先進(jìn)激光技術(shù)及應(yīng)用領(lǐng)域高端應(yīng)用型人才。
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