眾所周知,目前嚴(yán)重制約國(guó)產(chǎn)芯片制造技術(shù)進(jìn)步的設(shè)備,就是光刻機(jī)了,因?yàn)槟壳叭蜃钕冗M(jìn)的光刻機(jī)是ASML的EUV光刻機(jī),用于7nm及以下的芯片生產(chǎn),僅ASML能夠生產(chǎn),卻不能賣(mài)給中國(guó)大陸。
而國(guó)內(nèi)最強(qiáng)的上海微電子生產(chǎn)的光刻機(jī),還在90nm,業(yè)內(nèi)人士表示,我們與ASML的差距可能得有10年以上。
也正因?yàn)橘I(mǎi)不到EUV光刻機(jī),所以我們目前的芯片制造技術(shù)還停留在14nm,所以發(fā)展自己的光刻機(jī),成為了當(dāng)前芯片市場(chǎng)的重中之重。
而近日,傳出一則消息,那就是華為也開(kāi)始布局光刻機(jī)了,華為旗下的專(zhuān)業(yè)投資半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的哈勃投資,正式入股北京科益虹源光電技術(shù)有限公司。
所占股份大約為4.7619%,而投資金額大約在1000萬(wàn)元左右,目前科益虹源的注冊(cè)資金變成了20160萬(wàn)元。
科益虹源是什么來(lái)頭?它是國(guó)內(nèi)唯一,也是全球第三家具備193nm ArF準(zhǔn)分子激光技術(shù)研究和產(chǎn)品化的公司。
在2018年的時(shí)候,科益虹源自主設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)的國(guó)內(nèi)首臺(tái)高能準(zhǔn)分子激光器順利出貨,目前已經(jīng)是國(guó)內(nèi)光刻機(jī)廠商上海微電子的光源系統(tǒng)供應(yīng)商。
此外,科益虹源還承擔(dān)了“02重大專(zhuān)項(xiàng)浸沒(méi)光刻光源研發(fā)”、“02重大專(zhuān)項(xiàng)核心零部件國(guó)產(chǎn)化能力建設(shè)”、“02重大專(zhuān)項(xiàng)集成電路晶圓缺陷檢測(cè)光源”等國(guó)家專(zhuān)項(xiàng),可以說(shuō)是目前在光刻機(jī)光源這個(gè)核心技術(shù)上,最厲害的國(guó)產(chǎn)廠商了。
當(dāng)然光刻機(jī)中的核心部件特別多,比如ASML的EUV光刻機(jī),有10多萬(wàn)個(gè)零件,光源之只是其中的一部分,但如果要攻克光刻機(jī),光源是必不可少的部分,也是必須要攻克的部分,是核心中的核心。
所以華為哈勃投資入股科益虹源,很明顯,是為了加碼布局光刻機(jī)領(lǐng)域的研發(fā),畢竟華為目前非常需要國(guó)產(chǎn)芯片制造技術(shù)能夠崛起。
所以爭(zhēng)取國(guó)產(chǎn)光刻機(jī),早日能夠突破,追上甚至超過(guò)ASML的水平,那么國(guó)產(chǎn)芯片制造技術(shù),就會(huì)有長(zhǎng)足的進(jìn)步。
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