▲《中國激光》由中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所主辦、中國激光雜志社出版

《中國激光》近期以封面文章報(bào)道了中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所張偉麗研究組在大口徑大陡度透鏡表面膜層性能提升方面做出的一系列突破性進(jìn)展，該研究采用寬角寬帶膜系和溫度-轉(zhuǎn)速綜合調(diào)控技術(shù)，解決了大口徑大陡度透鏡表面膜層傾斜沉積導(dǎo)致的膜層生長特性改變和均勻性難題。

　　高精密光學(xué)系統(tǒng)，尤其是光刻機(jī)系統(tǒng)中，通常會(huì)設(shè)計(jì)并使用大量小曲率半徑的大陡度透鏡以實(shí)現(xiàn)大數(shù)值孔徑，這對(duì)鍍制其表面的深紫外薄膜提出了極高的要求。

　　與平面光學(xué)元件相比，大陡度透鏡表面上的薄膜生長特性更為復(fù)雜，需考慮膜層折射率非均勻性和厚度非均勻性等問題，而研究大陡度透鏡表面膜層均勻性，是提升其元件光學(xué)性能及穩(wěn)定性的前提。

　　近十年來，張偉麗研究組圍繞提升大陡度透鏡表面膜層性能方面開展了系統(tǒng)研究，建立了大陡度透鏡表面膜層沉積角度變化計(jì)算模型，揭示了大陡度透鏡表面薄膜生長特性與沉積角度和曲率半徑的依賴關(guān)系，發(fā)展了基于溫度-轉(zhuǎn)速的折射率非均勻性調(diào)控技術(shù)，設(shè)計(jì)了寬角寬帶增透膜膜系，有效提升了大陡度透鏡表面膜層折射率均勻性，實(shí)現(xiàn)了大口徑大陡度復(fù)雜曲面薄膜元件光譜均勻性優(yōu)于公開報(bào)道水平。