縮小尺寸降低成本

Micro-LED已經(jīng)成為當(dāng)前的熱點(diǎn)，關(guān)于Micro-LED未來(lái)的發(fā)展，產(chǎn)業(yè)界目前已經(jīng)達(dá)成一定的共識(shí)，即Micro-LED芯片必須進(jìn)一步縮小尺寸降低成本，以尋求更廣泛的應(yīng)用場(chǎng)景，并且在某些市場(chǎng)領(lǐng)域，芯片尺寸必須達(dá)到10μm甚至低于5μm。而在微米級(jí)尺寸的巨量轉(zhuǎn)移領(lǐng)域，激光方案應(yīng)該是將LED晶粒從外延片轉(zhuǎn)移到最終驅(qū)動(dòng)背板的優(yōu)選方案。

（圖片來(lái)源：Coherent相干公司）

成功實(shí)現(xiàn)小批量生產(chǎn)

由Coherent相干公司開(kāi)發(fā)的激光巨量轉(zhuǎn)移方案已經(jīng)持續(xù)研發(fā)了數(shù)年，并且已成功在客戶(hù)端實(shí)現(xiàn)小批量生產(chǎn)，同時(shí)不斷有新的合作伙伴開(kāi)始和Coherent相干公司合作進(jìn)行激光巨量轉(zhuǎn)移的測(cè)試和試生產(chǎn)。

（圖片來(lái)源：Coherent相干公司）

準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性是關(guān)鍵

在巨量轉(zhuǎn)移制程中，決定產(chǎn)量和良率的關(guān)鍵是轉(zhuǎn)移的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。Coherent相干公司的激光巨量轉(zhuǎn)移系統(tǒng)目前可以支持最小5μm尺寸LED晶粒實(shí)現(xiàn)高速高精度的巨量轉(zhuǎn)移，未來(lái)的發(fā)展規(guī)劃是可以實(shí)現(xiàn)3μm以下LED晶粒的高速轉(zhuǎn)移，并且實(shí)現(xiàn)較快的轉(zhuǎn)移速度和理想的良品率，以達(dá)到可以支持大批量生產(chǎn)的目標(biāo)。在轉(zhuǎn)移穩(wěn)定性方面，現(xiàn)在Coherent相干公司的巨量轉(zhuǎn)移方案在有效處理區(qū)域內(nèi)的晶粒轉(zhuǎn)移均勻度達(dá)到了很高的一致性，這樣對(duì)于實(shí)現(xiàn)更大區(qū)域轉(zhuǎn)移提供了較大的工藝窗口。

（圖片來(lái)源：Coherent相干公司）

（圖片來(lái)源：Coherent相干公司）

每秒數(shù)百萬(wàn)顆芯片傳輸速度

對(duì)于高分辨率顯示器，Coherent相干公司的準(zhǔn)分子激光系統(tǒng)可以在單個(gè)激光脈沖內(nèi)轉(zhuǎn)移大量LED晶粒，目前轉(zhuǎn)移速率已經(jīng)可以達(dá)到每秒數(shù)百萬(wàn)顆芯片的傳輸速度。Coherent相干公司規(guī)劃的短期目標(biāo)是可以在一小時(shí)內(nèi)完成數(shù)臺(tái)8K電視面板的巨量轉(zhuǎn)移工藝。每臺(tái)8K電視面板約相當(dāng)于1億顆RGB LED芯片，這意味著巨量轉(zhuǎn)移工藝需要在保證轉(zhuǎn)移精度和均勻度的前提下至少達(dá)到每秒千萬(wàn)顆的傳輸速度。這是一項(xiàng)充滿(mǎn)挑戰(zhàn)的工作，同時(shí)也令Micro-LED產(chǎn)業(yè)界充滿(mǎn)期待。