前有美國商務(wù)部將44家中國企業(yè)和科研院所列入“未經(jīng)核實”名單,后有中美貿(mào)易戰(zhàn)持續(xù)升級,加稅名單出臺,對各行業(yè)領(lǐng)域帶來了影響。激光產(chǎn)業(yè)屬于高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),激光作為一種高效加工工具,對于推動中國經(jīng)濟轉(zhuǎn)型升級具有不可替代的作用,而缺少核心元器件和關(guān)鍵材料是我國當(dāng)前乃至未來高功率激光光源產(chǎn)業(yè)發(fā)展的主要瓶頸,高性能半導(dǎo)體激光器芯片大量進口,單芯片功率≥12 W受到禁運。迅速提升我國高功率光纖激光光源技術(shù)、關(guān)鍵器件、核心原材料的國產(chǎn)化和產(chǎn)業(yè)化水平,有助于扭轉(zhuǎn)我國激光市場整體格局。
01主要卡脖子技術(shù)
(1)窄線寬波長穩(wěn)定976nm/15 W半導(dǎo)體激光芯片及萬瓦半導(dǎo)體激光器技術(shù)
隨著技術(shù)發(fā)展,萬瓦級激光器對抽運源芯片的出射功率、亮度及穩(wěn)定性要求越來越高。976nm波長窄線寬及波長穩(wěn)定技術(shù)可有效降低系統(tǒng)熱管理難度,提高系統(tǒng)耦合效率和光束質(zhì)量,成為實現(xiàn)萬瓦級激光器核心關(guān)鍵技術(shù)。
我們還需要在以下技術(shù)方向努力:
針對高亮度直接半導(dǎo)體激光器及工業(yè)萬瓦級激光器對前端抽運源要求,解決新一代激光芯片整體設(shè)計及外延制備關(guān)鍵核心技術(shù);
芯片級波長穩(wěn)定技術(shù),通過光柵刻寫及二次外延完成內(nèi)置光柵制備,實現(xiàn)波長穩(wěn)定,滿足萬瓦級光纖激光器所需抽運源及高亮度直接半導(dǎo)體激光器的應(yīng)用需求;
開展腔面工程技術(shù)研究,提升腔面損傷閾值,實現(xiàn)高質(zhì)量、高損傷閾值的芯片腔面;
突破芯片級別的高偏振特性技術(shù)。
(2)高功率增益光纖及其萬瓦激光器技術(shù)
目前國際商用有源光纖通過對光纖的波導(dǎo)、摻雜分布、摻雜工藝,實現(xiàn)了有源光纖在3kW及以上良好的光束質(zhì)量輸出性能,抑制高功率下模式不穩(wěn)定性,實現(xiàn)高功率下光纖模式的穩(wěn)定輸出與高穩(wěn)定輸出技術(shù)是一項關(guān)鍵技術(shù)。
在高功率下,光纖失效最大的原因之一是光纖的包層出現(xiàn)性能退化失效,光致暗化性能如何表征并進行抑制是現(xiàn)有高功率用途有源光纖面臨的難點。在光纖芯徑逐漸增大、功率提高到3kW后,光纖的光致暗化性能測量以及通過材料手段進行抑制是高功率有源光纖的一個核心關(guān)鍵技術(shù)。需要研制功率輸出大于十萬瓦級的全光纖工業(yè)級激光器產(chǎn)品(要求300μm芯徑輸出),溫升曲線低于萬分之五的高品質(zhì)合束器,高精度光纖拉錐-切割-熔接-涂覆一體化光纖工藝裝備。
(3)千瓦級超快(皮秒/飛秒)激光器關(guān)鍵技術(shù)
超快激光器通常采用主振蕩器/功率放大器結(jié)構(gòu)(MOPA),鎖模超快激光種子源輸出高重頻、低能量的皮秒/飛秒種子脈沖,經(jīng)過后續(xù)放大和一系列處理,得到高功率皮秒/飛秒激光器,攻克超快激光種子源技術(shù)、脈沖展寬壓縮及時序控制技術(shù)、固體多級多程放大技術(shù)、大口徑光纖啁啾脈沖放大技術(shù)、碟片高功率放大技術(shù)等關(guān)鍵技術(shù)。
(4)極端條件激光先進制造關(guān)鍵技術(shù)
大厚板、高強鋼、有色金屬材料激光焊接技術(shù),鈦合金、鋁合金,大厚構(gòu)件材料中壁板變厚度、大曲面,需要深入探討影響多模激光在大厚構(gòu)件上的焊接加工精度和效率的關(guān)鍵因素及物理機制:
研究超大型工件現(xiàn)場激光再制造修復(fù)技術(shù),可在核電、燃氣輪機、水輪發(fā)電機、輪船和冶金、石化、鐵道運輸?shù)阮I(lǐng)域得到進一步應(yīng)用;
超結(jié)構(gòu)、超材料、超器件激光微納制造技術(shù),近年來超結(jié)構(gòu)在航空航天、納米機器人、功能性微納器件、可植入超精密醫(yī)療器械等領(lǐng)域中正發(fā)揮日益重大的作用,研究極微量物質(zhì)乃至分子原子的生長、排布、組裝、改性以及去除過程的精確控制規(guī)律,能推動實現(xiàn)激光微納制造微器件高效率、高精度制造。
(5)激光增材制造新技術(shù)研究
增材制造技術(shù)主要利用高能束熱源將粉末或絲材分層沉積到基體上,最終實現(xiàn)原始尺寸恢復(fù)或沿成形基面快速成形制造。開發(fā)鈦鋁、耐高溫合金、光敏樹脂、細胞等新型3D打印材料,發(fā)展微納增材制造、多色材料增材制造、纖維復(fù)合材料增材制造等打印設(shè)備,突破掃描振鏡、3D打印激光器及控制系統(tǒng)、高速高精導(dǎo)軌、氧/塵/水傳感器等核心部件,拓展3D掃描、創(chuàng)意設(shè)計、3D打印制造服務(wù)等應(yīng)用及服務(wù)。
02激光器仍然是國內(nèi)激光發(fā)展的核心
(1)半導(dǎo)體激光器
作為一種新型光源,以其結(jié)構(gòu)緊湊、光束質(zhì)量好、壽命長及性能穩(wěn)定等優(yōu)勢,可用作光纖激光器、固體激光器抽運源,目前占整個激光領(lǐng)域產(chǎn)品銷售總額的60%。到2023年,預(yù)計我國半導(dǎo)體激光產(chǎn)業(yè)市場規(guī)模將接近300億元。氮化鎵基藍綠光半導(dǎo)體激光器是第三代半導(dǎo)體材料的重要方向。美國TeraDiode公司已開發(fā)出一款超高亮度的千瓦量級直接半導(dǎo)體激光器,使輸出光束的光束參量積達到了3.75mm-mrad,在單一中心波長下該激光器的輸出功率達到了2030W。
(2)光纖激光器
光纖激光器占全球激光器份額超過50%。粗略統(tǒng)計我國去年光纖激光器的出貨量超過8萬臺。以公司來說,IPG光子仍然占據(jù)非常高的市場份額,國內(nèi)的銳科激光已有超過2萬瓦激光器,海富光子、中科光匯、創(chuàng)鑫激光等也都各有所長。
(3)超快激光器
以皮秒與飛秒激光器為代表的超快激光自2003年后開始發(fā)展,在過去的10多年中,商用超快激光器的平均功率增加了一百倍,發(fā)展重點為千瓦級超快激光器。德國耶拿大學(xué)、夫瑯禾費應(yīng)用光學(xué)和精密工程研究所以及Active Fiber Systems等組織機構(gòu)的研究人員攜手歐盟ELI(Extreme Light Infrastructure)項目構(gòu)建了一個能提供高達6fs、200W的激光系統(tǒng),刷新了世界紀(jì)錄。以相干、光譜物理、通快、NKT、EKSPLA、Light Conversion、Lumentum、EdgeWave、Amplitude等公司為代表,在超快激光器領(lǐng)域占有全球近90%的市場份額。
吉林大學(xué)、清華大學(xué)、西安交通大學(xué)、中科院物理所/光機所等都在大力推進超快激光科研;華日激光、安揚激光、武漢虹拓新技術(shù)、卓鐳激光等國內(nèi)企業(yè)也在大力推進產(chǎn)業(yè)化。2018年全球超快激光器產(chǎn)值超過8億美元,未來三年還會出現(xiàn)加快增長,至2020年市場產(chǎn)值可達14億美元。在中國,由消費電子產(chǎn)品加工帶來的超快激光微加工應(yīng)用需求量會大幅增加。
(4)紫外激光器
2018年國內(nèi)紫外激光器市場快速增長,總銷售數(shù)量超過6000臺,同比增長超過70%。除了光譜物理、相干、通快、英諾激光等外國公司占有高端市場,國內(nèi)品牌也得到長足發(fā)展,華日激光、英谷激光、瑞豐恒、道中道激光等企業(yè)都得到了良好的增長。紫外激光設(shè)備的發(fā)展主要表現(xiàn)在打標(biāo)與精密切割方面,在消費電子器件、FPC板、玻璃、聚合物等應(yīng)用領(lǐng)域均有不錯的加工效果。
以激光器應(yīng)用的熱門領(lǐng)域來看,激光雷達和激光照明兩個應(yīng)用市場增長不錯。激光雷達市場增長的主要驅(qū)動力來自于無人機、自動駕駛的汽車、機器人、軍事及安全等領(lǐng)域。當(dāng)前,激光雷達主要有兩種類型:一種是多束激光并排繞軸旋轉(zhuǎn)360度,每束激光掃描一個平面,但分辨率的下降使車輛行駛中檢測障礙物時易產(chǎn)生盲點,從而帶來安全隱患。另一種是固態(tài)激光雷達。該技術(shù)以美國Quanergy Systems公司的固態(tài)激光雷達傳感器為首,采用相控陣掃描替代機械掃描方式,可以大幅降低生產(chǎn)成本。
激光照明的一部分市場是汽車激光照明,主要是汽車頭燈。寶馬、奧迪等知名汽車制造商都采用了激光照明系統(tǒng)。另一部分市場是安全激光照明,如為夜晚環(huán)境中騎行的人們提供警示性標(biāo)識。
03激光加工發(fā)展趨勢
隨著光纖激光器的技術(shù)不斷突破與價格下降,光纖激光切割機呈現(xiàn)良好的增長,尤其是中小功率切割機廣受歡迎,高功率激光切割需求也快速恢復(fù)。激光加工向智能化、微細、超大、極端制造方向發(fā)展。
(1)激光焊接、切割
激光焊接將首先在汽車制造、高速火車和飛機制造、農(nóng)業(yè)機械和造船等領(lǐng)域鋪開,這將是一個未來的增長點。
(2)激光清洗
利用高能激光束與工件表面要去除的物質(zhì)相互作用,發(fā)生瞬間蒸發(fā)或剝離,無需各種化學(xué)清洗劑,綠色無污染??捎糜谇宄推?、油污、氧化層、清洗螺桿、除銹、清洗焊縫等。激光清洗在微電子、建筑、核電站、汽車制造、醫(yī)療、文物保護、鋼鐵除銹和模具去污等領(lǐng)域擁有巨大市場空間。
(3)金屬3D打印
金屬3D打印即增材制造,SLM系統(tǒng)的年銷量超過1000臺,其中使用的激光源主要是光纖激光器、CO2激光器和超快光纖激光器,功率范圍30W到1kW以上。3D打印的精細度也越來越高,打印出的精細結(jié)構(gòu)的分辨率已經(jīng)達到微米量級。
(4)激光精密加工和微細加工
隨著中國集成電路的大力發(fā)展,用于印刷電路板和消費電子產(chǎn)品微加工系統(tǒng)大幅增長。生物技術(shù)和醫(yī)療設(shè)備領(lǐng)域的應(yīng)用也給微細加工提供了廣闊的發(fā)展空間。中國手機市場的蓬勃發(fā)展給平板顯示制造商帶來了巨大的商機,用于制造OLED顯示器的準(zhǔn)分子激光器在亞洲市場勢頭強勁。
04總結(jié)
綜上所述,我國高亮度高功率激光器雖然經(jīng)過十多年的不斷攻關(guān)已取得了一定的成績,但是缺少核心元器件和關(guān)鍵材料,是我國當(dāng)前乃至未來激光光源產(chǎn)業(yè)發(fā)展的主要瓶頸。
(1)打破我國半導(dǎo)體激光器產(chǎn)業(yè)“有器無芯”的局面,開發(fā)出窄線寬波長穩(wěn)定的976 nm/15 W應(yīng)用于高功率半導(dǎo)體抽運源及直接半導(dǎo)體激光器應(yīng)用的激光芯片;
(2)迅速提升我國高功率光纖激光光源技術(shù)、關(guān)鍵器件、核心原材料的及國產(chǎn)化和產(chǎn)業(yè)化水平,扭轉(zhuǎn)我國激光市場整體格局的必由之路;
(3)大力攻克千瓦飛秒激光技術(shù)與關(guān)鍵核心器件,開發(fā)固體多級多層放大技術(shù)和碟片激光放大技術(shù),實現(xiàn)核心關(guān)鍵器件的國產(chǎn)化,完善超快激光器全產(chǎn)業(yè)鏈;
(4)研究超快激光微孔加工、超快激光高效高質(zhì)量切割以及超快激光鍵合封裝技術(shù),跟蹤顯示產(chǎn)業(yè)、微電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展,加強產(chǎn)業(yè)鏈配套能力建設(shè)。
作者:唐霞輝 教授 華中科技大學(xué)激光加工國家工程研究中心
轉(zhuǎn)載請注明出處。