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傳統(tǒng)的濕度測(cè)量方法有干濕球法、冷凝法、濕敏電容、露點(diǎn)法，但會(huì)受到風(fēng)速、溫度、測(cè)到方便性、測(cè)量環(huán)境等因素的影響。由中科院半導(dǎo)體研究所開發(fā)的基于可調(diào)諧半導(dǎo)體激光吸收光譜（TDLAS）濕度傳感器，采用非接觸式測(cè)量，光源線寬窄，有效避免交叉感染，適合復(fù)雜工況下的濕度測(cè)量。

TDLAS技術(shù)測(cè)量濕度的優(yōu)勢(shì)在于：

一、可靠性高，壽命長(zhǎng)。主機(jī)的核心器件壽命超過五年，同時(shí)探頭為無源設(shè)計(jì)，亦可長(zhǎng)期使用，大大降低了后期的維護(hù)費(fèi)用；

二、無需頻繁校準(zhǔn)。由于采用非接觸式測(cè)量，核心傳感器不受復(fù)雜工況干擾，穩(wěn)定性高；

三、精確度高。TDLAS技術(shù)的感濕特性曲線線性度好，線性度R2≥0．999，遠(yuǎn)高于國(guó)家HJ75－2017對(duì)準(zhǔn)確度的要求；

四、全量程測(cè)量。TDLAS技術(shù)可以真正做到0－100％RH全量程測(cè)量。在低濕情況下，測(cè)量下限可以達(dá)到1ppmv，高濕情況下，可以穩(wěn)定的測(cè)量接近冷凝飽和100％RH濕度。

TDLAS的核心技術(shù)更是達(dá)到了國(guó)際先進(jìn)水平，在濕度應(yīng)用等方面具有重要意義。目前，TDLAS技術(shù)已經(jīng)在環(huán)保、工業(yè)、氣象行業(yè)、及軍工行業(yè)等有了廣泛運(yùn)用。TDLAS技術(shù)在國(guó)內(nèi)無人機(jī)高空室溫測(cè)量、文物領(lǐng)域高濕環(huán)境監(jiān)測(cè)、數(shù)據(jù)中心IDC機(jī)房濕度監(jiān)測(cè)上也得到了用戶的一致好評(píng)，其中文物領(lǐng)域的應(yīng)用填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)空白。

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中科院研發(fā)新型激光高溫濕度傳感器