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日本三菱重工微細激光加工機可實現(xiàn)最小10μm開孔的激光加工

來源:中國機床商務網(wǎng)2016-11-12 我要評論(0 )   

日本三菱重工機床公司將推出微細激光加工機“ABLASER”的新機型——采用第四高頻波(波長266nm)深紫外(DUV)激光器的“ABLASERDUV”。新產(chǎn)品根據(jù)DUV激光器的特性改進...

日本三菱重工機床公司將推出微細激光加工機“ABLASER”的新機型——采用第四高頻波(波長266nm)深紫外(DUV)激光器的“ABLASERDUV”。新產(chǎn)品根據(jù)DUV激光器的特性改進了聚光光學系統(tǒng)的設計,在保持長焦點深度的同時縮小了集光直徑,從而實現(xiàn)了微細化和高精度化。
日本三菱重工微細激光加工機可實現(xiàn)最小10μm開孔的激光加工機
 
ABLASER的特點是,可抑制高峰值輸出功率下加工部分的升華對加工面的影響。與放電加工以及原來的激光加工相比,可獲得更好的尺寸精度和表面平滑性。而且還可加工圓錐狀孔及鼓狀孔,可用于普通切削加工難以處理的高硬度材料及脆性材料的微細加工。

另外,新機型還配備了可連續(xù)發(fā)射激光的短脈沖DUV激光振蕩器。使用適合DUV激光器的透鏡及棱鏡,并組合可使激光器高速高精度旋轉的光學頭,實現(xiàn)了高精度高品質的微細加工。

最小加工直徑方面,使用綠色激光器(波長532nm)的以往機型為50μm,而新機型為10μm。新機型的最大深寬比為10。聚光斑形狀接近正圓,可實現(xiàn)高精度的開孔加工。此外,DUV激光對多種材料的吸收率都很高,光能也很大,因此還可加工玻璃材料、化合物半導體材料等難加工材料。

各軸的移動量為X300mm×Y200mm×Z100mm,配備A/C軸時為X100×Y100×Z100mm。定位精度為0.001mm,機身尺寸為寬2040×長2620×高2000mm。

三菱重工機床將在“第28屆日本國際機床展(JIMTOF2016)”(11月17~22日于東京有明國際會展中心舉行)上展出這款新機型,并于當天開始銷售。

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三菱重工微細激光加工
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