電機(jī)結(jié)構(gòu)：
單軸振鏡電機(jī)包含高精度傳感器和基于移動磁鐵技術(shù)的電機(jī)部分。電機(jī)轉(zhuǎn)子經(jīng)過優(yōu)化設(shè)計(jì)，有極佳的動態(tài)屬性和響應(yīng)特性，此外，電機(jī)具有高剛性和低摩擦的特點(diǎn)。另外通過運(yùn)動學(xué)和動力學(xué)仿真，針對每個電機(jī)都匹配了一定慣量的鏡片。
Ultra-Galvo：
用光電傳感器作為反饋系統(tǒng)的振鏡，特點(diǎn)是有較高的重復(fù)精度和線性度，而且性價比極高。
Extra-Galvo：
用光柵編碼器作為反饋系統(tǒng)的振鏡，對比光電振鏡，具有更高的位置解析度、更好的重復(fù)性和更低的漂移，即使在環(huán)境溫度變化的條件下，也保持較好的重復(fù)性。
傳感器對比
Ultra-Galvo | Extra-Galvo | |
最大角度(°) Maximum angle (°) | ±12.5 | ±12.5 |
非線性度(%)Nonlinearity (%) | ＜0.4 | ＜0.1 |
重復(fù)精度(μrad) Repeatability (μrad) | ＜5 | ＜2 |
零位漂移（μrad/K）Offset Drift（μrad/K） | ＜15 | ＜15 |
增益漂移（ppm/K）Gain Drift（ppm/K） | ＜50 | ＜8 |
位置解析度Position resolution | 18位 | 23位 |
技術(shù)參數(shù)
XXS | XS | S | M | L | ||
入口光斑Input Beam Aperture (mm) | <7 | 7 | 8.5 | 10 | 14 | 20-30 |
轉(zhuǎn)動慣量Moment of inertia(g?cm2) | 0.013 | 0.018 | 0.174 | 0.34 | 1.2 | 5.1 |
力常數(shù)Force constant(N?mm/A) | 1.2 | 2.7 | 5.3 | 7.5 | 15 | 24 |
線圈電阻Coil resistance(Ω) | 2.1 | 3.6 | 2.1 | 2.7 | 2.6 | 1.58 |
線圈電感Coil inductance(μH) | 35 | 70 | 63.5 | 165 | 275 | 385 |
最大連續(xù)電流Maximum continuous current(A) | 2.3 | 2.3 | 2.3 | 2.5 | 3.5 | 5 |
峰值電流Peak current(A) | 6 | 8 | 10 | 10 | 10 | 10 |
上升時間Rise Time(ms) | 0.13 | 0.10 | 0.15 | 0.18 | 0.3 | 0.7 |
質(zhì)量Weight(g) | 13 | 18 | 50 | 220 | 300 | 400 |
光柵振鏡Grating galvanometer | S | M | L |
入口光斑Input Beam Aperture (mm) | 10 | 14 | 20-30 |
轉(zhuǎn)動慣量Moment of inertia(g?cm2) | 0.6 | 1.5 | 7.2 |
力常數(shù)Force constant(N?mm/A) | 7.5 | 15 | 24 |
線圈電阻Coil resistance(Ω) | 2.7 | 2.6 | 1.58 |
線圈電感 Coil inductance(μH) | 155 | 275 | 385 |
最大連續(xù)電流Maximum continuous current(A) | 2.5 | 3.5 | 5 |
峰值電流 Peak current(A) | 10 | 10 | 10 |
上升時間 Rise Time(ms) | 0.2 | 0.3 | 0.7 |
質(zhì)量Weight(g) | 220 | 300 | 400 |
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