SHR激光波長計可以方便的測量脈沖和連續(xù)激光器的波長，精度達到+/- 3pm，整個波長范圍是190-1100nm。光學分辨率(FWHM)可以達到30000(λ/Δλ(FWHM))，在紫外段，可以達到6pm，在近紅外波段可以達到40pm。SHR激光波長計由于其測量的特點，也可以用于在線測量。
SHR激光波長計并不是用于一般的寬光譜測量，但是，它憑借中階梯光柵，可以好的用于分析窄波長的產品－在UV短的峰展寬0.5nm到近紅外波段的18nm。
特點：
l 準確度高、光譜范圍寬
l 光譜分析
l 連續(xù)或脈沖激光測量
l 緊湊設計、無移動部件
l 帶衰減器的光纖輸入
l 友好的操作軟件界面
技術參數(shù)：
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操作模式 |
連續(xù)或脈沖 |
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光譜范圍 |
190 - 1100 nm |
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精度 |
± 3 pm |
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光譜分辨率 |
30 000 |
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光源線寬要求 |
≤125 см-1 |
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衍射光柵 |
小于 0.5 mW @ 632.8nm |
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靈敏度 |
7 ms |
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光學接口 |
SMA-905，光纖直徑400 um , 長1000mm ,衰減器 FA-3 |
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計算機接口 |
USB |
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軟件 |
WLMeter |
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尺寸和重量 |
165 х 215 х 90 mm; 2.6 kg |
WLMeter軟件：
SHR激光波長計光學分辨率 SHR激光波長計最大
193.3nm ArF 測量，可接光纖，也可接光學端口
Diode laser λcenter=655.25nm, FWHM<0.022nm. 單個模式間隔170pm
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