薄膜體聲波諧振器縮寫(xiě)為FBAR，是近期發(fā)展起來(lái)的一種MEMS技術(shù)頻率器件，主要用在射頻領(lǐng)域，作為射頻濾波器、雙工器、多任務(wù)器和振蕩器等。與傳統(tǒng)聲表面波器件相比，具有頻率高、體積小、承受功率大、效率高、可集成化等優(yōu)勢(shì)。

薄膜體聲波諧振器存在的雜質(zhì)：

主要是去除諧振器的基壓及外殼上的油污，還有塵埃的顆粒。

再則，外殼模板是依靠外殼法蘭邊掛住外殼轉(zhuǎn)換模板定位孔邊沿來(lái)實(shí)現(xiàn)定位的，無(wú)法翻轉(zhuǎn)或較大角度傾斜，清洗污垢的話，如直接用氮?dú)獯低鈿?nèi)部里面會(huì)導(dǎo)致外殼被吹出。

超聲波清洗機(jī)的優(yōu)勢(shì)之在：

可以最大程度地清除內(nèi)部污染，從而避免污染影像到產(chǎn)品的性能。

威固特VGT-607FTA超聲波清洗機(jī)對(duì)薄膜體聲波諧振器的幫助，從以下內(nèi)容可體現(xiàn)出：

一、概述：

該清洗機(jī)是專(zhuān)為晶體行業(yè)類(lèi)的產(chǎn)品而設(shè)計(jì)的超聲波清洗設(shè)備。整個(gè)工藝流程由PLC編程控制，可根據(jù)清洗工藝要求，靈活設(shè)置動(dòng)作參數(shù)。采用全自動(dòng)化運(yùn)作過(guò)程，清洗效果好，溶劑保持潔凈時(shí)間長(zhǎng)，實(shí)現(xiàn)清洗流程的自動(dòng)化作業(yè)，降低操作人員勞動(dòng)強(qiáng)度，提高設(shè)備的生產(chǎn)能力和清洗效果。

二、清洗工藝流程：

自動(dòng)上料——洗凈超聲清洗——純水超聲清洗——純水超聲波漂洗——純水超聲清洗——純水超聲清洗——純水超聲波漂洗——自動(dòng)下料。

三、各槽的規(guī)格配置：

1、各清洗槽內(nèi)槽尺寸：（L×W×H）260×310×230mm；

2、所有槽均采用不銹鋼材料制作；

3、所有加熱槽體外側(cè)均貼有保溫材料保溫。

四、機(jī)械臂結(jié)構(gòu)組成：

多臂型機(jī)械臂由機(jī)架、機(jī)械臂傳動(dòng)系統(tǒng)、吊臂、電氣控制裝置等組成。

機(jī)架：全不銹鋼制作的支撐架結(jié)構(gòu)，焊接在設(shè)備底盤(pán)上，以保證機(jī)械強(qiáng)度及機(jī)械臂的穩(wěn)定性。頂部安裝有水平橫移導(dǎo)軌。

橫移傳動(dòng)系統(tǒng)：采用氣缸配合直線導(dǎo)軌傳動(dòng)。PLC程序控制動(dòng)作。保證橫移動(dòng)作的相對(duì)精度和穩(wěn)定性。