壓電馬達一般分為交流壓電馬達和直流壓電馬達。運動方式分為旋轉(zhuǎn)和直線運動兩種。壓電馬達由振動件和運動件兩部分組成，一般體積較輕、薄、小巧。
由于壓電陶瓷在電壓下產(chǎn)生的位移非常精細，在微納米量級，且振動或伸縮的幅值很微小，因而特別適用于制成超高精度的運動馬達，獲得微小的位置調(diào)整。
直線與旋轉(zhuǎn)壓電馬達的原理
壓電馬達的結(jié)構(gòu)形式很多，但多數(shù)的動作原理相同，都是利用壓電陶瓷在電壓作用下發(fā)生振動，驅(qū)動運動件旋轉(zhuǎn)或直線運動。
直線運動的壓電馬達是采用粘滑原理，一般采用單個壓電陶瓷或多個壓電陶瓷驅(qū)動。通過壓電陶瓷的振動完成移動平臺的直線運動。采用單個壓電陶瓷的結(jié)構(gòu)，通過調(diào)整壓電陶瓷的運動方向及速度來控制。采用多個壓電陶瓷驅(qū)動的結(jié)構(gòu)，一般具有兩種壓電陶瓷，一種壓電陶瓷的位移方向與運動方向垂直，控制壓電陶瓷與移動件的接觸與分離；另一種壓電陶瓷的位移方向與運動方向平行，通過壓電陶瓷的振動驅(qū)動運動平臺的直線運動。
旋轉(zhuǎn)型壓電馬達也是由壓電陶瓷驅(qū)動，壓電陶瓷在電壓作用下產(chǎn)生振動，通過爪桿使棘輪旋轉(zhuǎn)，實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)運動。
芯明天壓電馬達
芯明天可提供直線與旋轉(zhuǎn)壓電馬達，直線馬達的運動范圍可達123mm，角度旋轉(zhuǎn)壓電馬達的運動范圍可達360度。
| ~10"） | |||
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滿行程重復度 |
< 1nm |
掃描分辨率 |
< 1~2µ° |
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速率 |
> 20mm/s |
角速度 |
≥15°~≥45°/s |
直線壓電馬達 部分展示
一維X向運動直線壓電馬達
直線與角度組合式壓電馬達
直線與旋轉(zhuǎn)組合式三維壓電馬達
