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北京瑞邦精控科技有限公司

單軸氣浮運(yùn)動臺、氣浮轉(zhuǎn)臺、多軸氣浮運(yùn)動臺、單軸線軌運(yùn)動臺、AB軸機(jī)械轉(zhuǎn)臺、多軸...

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QFU-A系列雙軸氣浮運(yùn)動臺
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產(chǎn)品: 瀏覽次數(shù):265QFU-A系列雙軸氣浮運(yùn)動臺 
品牌: 瑞邦精控
單價: 面議
最小起訂量:
供貨總量:
發(fā)貨期限: 自買家付款之日起 3 天內(nèi)發(fā)貨
有效期至: 長期有效
最后更新: 2024-04-22 11:14
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詳細(xì)信息

產(chǎn)品特點(diǎn)

 

?  非接觸閉式氣浮結(jié)構(gòu)                                              ?  光柵尺閉環(huán)反饋

?  亞微米級重復(fù)定位精度                                          ?  直線度平面度優(yōu)于1μm

?  優(yōu)化線纜管理                                                          ?  可定制化設(shè)計(jì)

 


應(yīng)用領(lǐng)域

QFU-A系列是一款閉式氣浮導(dǎo)軌的雙軸氣浮運(yùn)動臺,十字疊層結(jié)構(gòu)用于超精密加工、測試測量、高精度掃描、半導(dǎo)體及光子學(xué)等行業(yè)。

 

結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

雙軸氣浮運(yùn)動臺采用氧化鋁氣浮導(dǎo)軌、直線電機(jī)和光柵尺組成,十字疊層結(jié)構(gòu),底軸為三氣浮導(dǎo)軌結(jié)構(gòu),上軸的運(yùn)動行程尺寸在底軸寬度范圍內(nèi),防止上軸出現(xiàn)懸空下塌,改善疊層后上軸的精度性能。氣浮運(yùn)動臺為非接觸式,隨著時間地推移,不會出現(xiàn)磨損或性能下降。陶瓷材料彈性模量大、比剛度大,可有效提高系統(tǒng)剛性和帶寬,增加控制系統(tǒng)的相位裕度和幅值裕度。

 

精度性能

雙軸氣浮運(yùn)動臺的定位精度±0.2μm,重復(fù)定位精度±0.1μm,直線度±0.3μm,平面度±0.5μm,Pitch Roll±2arc sec,Yaw±0.8arc sec。

 

線纜管理

精心優(yōu)化管線彎曲半徑,防止動作過程中線纜的拉伸影響到氣浮運(yùn)動臺的性能,使用高質(zhì)量的線纜,以確保無故障操作。

 

定制化

可定制陶瓷材質(zhì)氣浮導(dǎo)軌,重復(fù)定位精度±15nm。行程可接受定制。


 

 

規(guī)格指標(biāo)

型號

單位

QFU-A-200-200

QFU-A-300-300

QFU-A-400-400





軸系

X

Y

X

Y

X

Y


行程

mm

200

200

300

300

400

400


補(bǔ)償后定位精度 

Plus (1)

μm

±0.15

±0.15

±0.15

±0.15

±0.2

±0.2

標(biāo)準(zhǔn)值

±0.2

±0.2

±0.3

±0.3

±0.4

±0.4



雙向重復(fù)定位精度

Plus (1)

μm

±0.075

±0.075

±0.075

±0.075

±0.1

±0.1

標(biāo)準(zhǔn)值

±0.1

±0.1

±0.15

±0.15

±0.2

±0.2



直線度 (2)

Plus (1)

μm

±0.1

±0.1

±0.15

±0.15

±0.3

±0.3

標(biāo)準(zhǔn)值

±0.4

±0.4

±0.75

±0.75

±1

±1



平面度 (2)

Plus (1)

μm

±0.2

±0.2

±0.4

±0.4

±0.5

±0.5

標(biāo)準(zhǔn)值

±0.4

±0.4

±0.75

±0.75

±1

±1



Yaw (2)

Plus (1)

arc sec

±0.4

±0.4

±0.75

±0.75

±0.8

±0.8

標(biāo)準(zhǔn)值

±1

±1

±1.5

±1.5

±2

±2



Pitch Roll (2)

Plus (1)

arc sec

±0.5

±1

±1

±1.5

±1.5

±2

標(biāo)準(zhǔn)值

±1

±2

±2

±3

±3

±3.5



電子分辨率 (3) 

nm

0.3 或 5(選配)







最大速度 (空載) (4)

m/s

1







最大加速度 (空載) (4)

m/s2

5,(10, 20 定制)







最大負(fù)載

kg

20







供氣壓力 (5)

MPa

0.5±0.05







注:

以上為單軸精度指標(biāo),在潔凈間內(nèi)測試,溫度20℃±0.5℃,濕度40%~60%RH,振動等級VC-F,測試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處,測試速度10mm/s,Renishaw激光干涉儀測量及自帶分析方法,多軸系統(tǒng)精度測試與負(fù)載尺寸及測試點(diǎn)高度有關(guān),環(huán)境的變化會導(dǎo)致精度變化,如要求非標(biāo)準(zhǔn)測試,請咨詢我們。

1. Plus值為高精度指標(biāo),是標(biāo)準(zhǔn)值的升級版。

2. 取決于平臺安裝表面的平面度。

3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。

4. 空載條件下指標(biāo),最大速度和加速度取決于負(fù)載大小。

5. 為保護(hù)氣浮導(dǎo)軌不受壓力影響,建議加裝壓力保護(hù)開關(guān)。壓縮空氣必須是清潔的(過濾至0.25μm或更佳,ISO8573-1),無水(壓力露點(diǎn)-20℃,ISO8573-1級別3)及無油(ISO8573-1級別1)。


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